[發(fā)明專利]元件、絕緣膜及其制造方法以及感放射線性樹脂組合物有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580027344.4 | 申請(qǐng)日： | 2015-05-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106462062B | 公開（公告）日： | 2020-02-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 安田博幸;山村哲也;工藤和生 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | JSR株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/023 | 分類號(hào)： | G03F7/023;C08G8/10;G03F7/075;G09F9/30;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/22 |
| 代理公司： | 11205 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 陶敏;臧建明 |
| 地址： | 日本東京港*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 元件 絕緣 及其 制造 方法 以及 放射 線性 樹脂 組合 | ||
【說明書】：
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- 專利分類
G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
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