[發明專利]元件、絕緣膜及其制造方法以及感放射線性樹脂組合物有效
| 申請號： | 201580027344.4 | 申請日： | 2015-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN106462062B | 公開（公告）日： | 2020-02-14 |
| 發明（設計）人： | 安田博幸;山村哲也;工藤和生 | 申請（專利權）人： | JSR株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/023 | 分類號： | G03F7/023;C08G8/10;G03F7/075;G09F9/30;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/22 |
| 代理公司： | 11205 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 | 代理人： | 陶敏;臧建明 |
| 地址： | 日本東京港*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 元件 絕緣 及其 制造 方法 以及 放射 線性 樹脂 組合 | ||
【權利要求書】：
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