[發明專利]抗蝕材料、抗蝕組合物和抗蝕圖案形成方法有效
| 申請號： | 201580024204.1 | 申請日： | 2015-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN106462059B | 公開（公告）日： | 2020-07-28 |
| 發明（設計）人： | 樋田匠;佐藤隆;越后雅敏 | 申請（專利權）人： | 三菱瓦斯化學株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 材料 組合 圖案 形成 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于三菱瓦斯化學株式會社，未經三菱瓦斯化學株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201580024204.1/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
