[發(fā)明專利]抗蝕材料、抗蝕組合物和抗蝕圖案形成方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580024204.1 | 申請日： | 2015-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN106462059B | 公開（公告）日： | 2020-07-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 樋田匠;佐藤隆;越后雅敏 | 申請（專利權）人： | 三菱瓦斯化學株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 材料 組合 圖案 形成 方法 | ||
【權利要求書】：
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