[發(fā)明專利]水反應(yīng)性Al復(fù)合材料、水反應(yīng)性Al合金噴鍍膜、該膜的制法及成膜室用構(gòu)成部件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580021615.5
• 申請日: 2015-08-24
• 公開（公告）號: CN106232854B
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 中村亮太;森田正;蟲明克彥
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社愛發(fā)科
• 主分類號: C23C4/08
• 分類號: C23C4/08;C23C4/123;C22C21/02
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所11038
• 代理人: 李英

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及水反應(yīng)性Al復(fù)合材料、水反應(yīng)性Al合金噴鍍膜、該Al合金噴鍍膜的制造方法及成膜室用構(gòu)成部件，特別是涉及在Al中添加了Bi、Si、Ti、Ce及Mg的水反應(yīng)性Al復(fù)合材料、由該水反應(yīng)性Al復(fù)合材料構(gòu)成的水反應(yīng)性Al合金噴鍍膜、該Al合金噴鍍膜的制造方法及用該Al合金噴鍍膜覆蓋了的成膜室用構(gòu)成部件。

背景技術(shù)

在用于通過濺射法、真空蒸鍍法、離子鍍敷法、CVD法等形成薄膜的成膜裝置中，在該裝置內(nèi)設(shè)置的成膜室用構(gòu)成部件上，不可避免地附著成膜工藝中由成膜材料構(gòu)成的金屬或金屬化合物的膜。作為該成膜室用構(gòu)成部件，例如可舉出用于防止膜在基板以外的真空容器內(nèi)部附著的防粘著板、開閉器、為了僅在基板的規(guī)定部位進(jìn)行成膜而使用的掩模、基板運(yùn)送用托架等。在成膜工藝中，與作為目標(biāo)的薄膜(將在基板上形成的薄膜)相同組成的膜也附著于這些部件。通常，在附著膜的剝離后重復(fù)使用這些部件。

不可避免地附著于這些成膜室用構(gòu)成部件的膜會隨著成膜工藝的作業(yè)時間而變厚。這樣的附著膜因其內(nèi)部應(yīng)力和反復(fù)的熱過程引起的應(yīng)力，從成膜室用構(gòu)成部件形成顆粒而被剝離，附著在基板上，成為膜缺陷產(chǎn)生的原因。因此，成膜室用構(gòu)成部件定期進(jìn)行以下循環(huán)：在未發(fā)生附著膜的剝離的階段，從成膜裝置拆下、清洗而將附著膜剝離，其后進(jìn)行表面加工，進(jìn)行再使用。

作為成膜材料，例如在使用Al、Mo、Ti、Cu、Ag、Au、Pt、Rh、Ru、Ir、Ta、W、Nb、Zr、Re、Ni、Cr、V、Li、Co、Pd、Nd、In及Se等有價金屬、包含2種以上這些金屬的合金以及ITO、ZnO、PZT及TiO₂等氧化物的情況下，一直追求確立如下的價廉的處理技術(shù)：用于回收不參與向基板上的膜形成而在基板以外的構(gòu)成部件上附著了的金屬等，同時用于再循環(huán)構(gòu)成部件。

例如，在為了防止成膜材料在成膜裝置中在基板以外的裝置內(nèi)壁及各成膜室用構(gòu)成部件表面等上附著而使用的防粘著板的情況下，現(xiàn)狀是將成膜時附著的附著物剝離后再利用。作為該附著物的剝離法，一般進(jìn)行噴砂法、利用酸或堿的濕式蝕刻法、利用由過氧化氫等引起的氫脆的剝離法、及利用了電解的剝離法。在該情況下，在實施附著物的剝離處理時，由于防粘著板等也不少地受到損傷，因此再利用次數(shù)有限。因此，期望開發(fā)使防粘著板等的損傷盡量少那樣的膜剝離法。

除了上述那樣的附著膜的剝離法以外，已知如下技術(shù)：在具備用具有可在水分存在的氣氛中反應(yīng)而溶解的性質(zhì)的、由水反應(yīng)性Al復(fù)合材料構(gòu)成的Al合金噴鍍膜被覆了的構(gòu)成部件的裝置內(nèi)實施成膜工藝，通過Al合金噴鍍膜的反應(yīng)和溶解使在成膜中附著的膜剝離和分離，從該被剝離的附著膜回收成膜材料的有價金屬。作為這樣的水反應(yīng)性Al復(fù)合材料，已知的有例如在Al中添加了特定量的In、Si和Ti的Al復(fù)合材料(例如參照專利文獻(xiàn)1)、和在Al中添加了特定量的Bi及Si的Al復(fù)合材料(例如參照專利文獻(xiàn)2)。但是，鑒于經(jīng)歷了高溫下的成膜工藝的Al合金噴鍍膜的剝離時間長、以及Al合金噴鍍膜的強(qiáng)度低這些方面，這些材料未必是令人滿意的。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：特許第5517371號公報

專利文獻(xiàn)2：特許第5327759號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

本發(fā)明的課題在于解決上述以往技術(shù)的問題點，在于提供一種在Al中添加Bi、Si、Ti、Ce和Mg而成的、能夠制造在水分存在的氣氛中能反應(yīng)而溶解的膜的噴鍍用水反應(yīng)性Al復(fù)合材料、由該Al復(fù)合材料構(gòu)成的Al合金噴鍍膜、該Al合金噴鍍膜的制造方法、以及用該Al合金噴鍍膜覆蓋了的成膜室用構(gòu)成部件。

用于解決課題的手段

本發(fā)明的噴鍍用水反應(yīng)性Al復(fù)合材料的特征在于，在Al中以Al重量基準(zhǔn)計添加0.2wt％以上2wt％以下、優(yōu)選0.5wt％以上1.5wt％以下的Bi、1.5wt％以上8wt％以下、優(yōu)選3wt％以上5wt％以下的Si、0.2wt％以上4wt％以下、優(yōu)選1wt％以上2wt％以下的Ti、0.2wt％以上2wt％以下、優(yōu)選0.2wt％以上0.5wt％以下的Ce、以及0.2wt％以上2wt％以下、優(yōu)選0.5wt％以上2wt％以下的Mg而成。

噴鍍用水反應(yīng)性Al復(fù)合材料具有上述那樣的構(gòu)成，由此由該材料得到的Al膜在水分存在的氣氛中容易反應(yīng)、產(chǎn)生氫并溶解。