[發明專利]水反應性Al復合材料、水反應性Al合金噴鍍膜、該膜的制法及成膜室用構成部件有效

申請號：	201580021615.5	申請日：	2015-08-24
公開（公告）號：	CN106232854B	公開（公告）日：	2017-10-13
發明（設計）人：	中村亮太;森田正;蟲明克彥	申請（專利權）人：	株式會社愛發科
主分類號：	C23C4/08	分類號：	C23C4/08;C23C4/123;C22C21/02
代理公司：	中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038	代理人：	李英
地址：	日本***	國省代碼：	暫無信息
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摘要：
搜索關鍵詞：	反應 al 復合材料合金鍍膜制法成膜室用構成部件
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【權利要求書】：

1.噴鍍用水反應性Al復合材料，其特征在于，在Al中以Al重量基準計添加0.2wt％以上2wt％以下的Bi、1.5wt％以上8wt％以下的Si、0.2wt％以上4wt％以下的Ti、0.2wt％以上2wt％以下的Ce、以及0.2wt％以上2wt％以下的Mg而成。

2.水反應性Al合金噴鍍膜的制造方法，其特征在于，以組成變得均勻的方式將在Al中以Al重量基準計添加0.2wt％以上2wt％以下的Bi、1.5wt％以上8wt％以下的Si、0.2wt％以上4wt％以下的Ti、0.2wt％以上2wt％以下的Ce、以及0.2wt％以上2wt％以下的Mg而成的材料熔融，將該熔融材料對基材表面進行噴鍍而使其急冷凝固，由此進行成膜。

3.水反應性Al合金噴鍍膜，其特征在于，由權利要求1所述的噴鍍用水反應性Al復合材料構成。

4.成膜裝置的成膜室用構成部件，其特征在于，在表面具備由權利要求1所述的噴鍍用水反應性Al復合材料構成的水反應性Al合金噴鍍膜。

5.權利要求4所述的成膜室用構成部件，其特征在于，所述構成部件為防粘著板、開閉器或掩膜。

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