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[發明專利]通過X射線反射散射測量來測量樣本的方法和系統有效

專利信息
申請號: 201580015724.6 申請日: 2015-01-16
公開(公告)號: CN106164618B 公開(公告)日: 2021-07-27
發明(設計)人: 希瑟·A·波伊斯;戴維·A·雷德;布魯諾·W·許勒爾;羅德尼·斯梅德特;杰弗里·T·范東 申請(專利權)人: 諾威量測設備公司
主分類號: G01B15/00 分類號: G01B15/00;G01N23/223;H01L21/66
代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 代理人: 梁麗超;陳鵬
地址: 美國加利*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 通過 射線 反射 散射 測量 樣本 方法 系統
【權利要求書】:
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