[發明專利]電子零件搬送裝置

有效

• 申請號: 201580002287.4
• 申請日: 2015-10-28
• 公開（公告）號: CN105874342B
• 公開（公告）日: 2017-10-24
• 發明（設計）人: 的場隆行
• 申請（專利權）人: 上野精機株式會社
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 馬爽,臧建明

技術領域

本發明涉及一種搬送電子零件的電子零件搬送裝置。

背景技術

電子零件在制造過程中要對各種檢查項目進行檢查，篩選(screening)出合格品后，將多個匯總捆包以便出貨。對于檢查項目，具代表性的是電氣特性的測定。電氣特性是電子零件的電壓、電流、電阻、頻率或針對邏輯(logic)信號的響應。在電氣特性的測定時，將被稱作觸點(contact)的通電接觸件抵住電子零件的電極，以進行電流注入、電壓施加或邏輯信號的輸入。然后，對輸出進行分析以進行合格品判定。

有一種在表背兩面具備外部連接用電極的電子零件。例如是作為對高電壓或大電流進行開關的功率(power)半導體元件而使用的絕緣柵極(gate)型雙極晶體管(bipolar transistor)、SiC雙極晶體管等。針對具有兩面電極的電子零件的電氣特性測定單元是使載臺兼下側觸點與上側觸點隔開間隔而相向配置，且使上側觸點可下降。載臺兼下側觸點載置電子零件，而且電性接觸于下表面電極(例如參照專利文獻1)。

而且，為了對各種檢查項目進行檢查，須從托盤(tray)或晶片(wafer)取出電子零件并予以搬送，而作為該搬送的用途，具代表性的有旋轉搬送方式的電子零件搬送裝置。其中，有夾盤外周設置型旋轉搬送方式的電子零件搬送裝置，其在旋轉平臺(turret table)的外周將吸附夾盤(chuck)等配置于圓周等配位置處，通過旋轉平臺的間歇性的旋轉來排列搬送電子零件(例如參照專利文獻2)。該夾盤外周設置型旋轉搬送方式具有下述優點，即，既能達成旋轉搬送方式的高速搬送，又能通過夾盤來自行進行電子零件相對于搬送路徑的接納及排出。

該電子零件搬送裝置沿著旋轉平臺所構成的搬送路徑來配置各檢查項目的單元，從而電子零件搬送裝置一邊搬送電子零件，一邊對各檢查項目進行檢查。各單元被配置在基于旋轉平臺的間歇旋轉的夾盤停止位置正下方，夾盤通過下降而將電子零件載置于各單元，使電子零件接受檢查項目的檢查。即，在各停止位置的正上方，換言之，在單元的載臺正上方，固定設置有下按夾盤的進退驅動部。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2010-276621號公報

專利文獻2：日本專利特開2010-135398號公報

發明內容

發明所要解決的問題

夾盤外周設置型旋轉搬送方式的電子零件搬送裝置通過高速搬送與相對于搬送路徑的自行供給及排出，而帶來電子零件生產效率的飛躍性的提高。然而，以往，在該電子零件搬送裝置所形成的搬送路徑中，無法納入對兩面電極的電子零件的電氣特性進行測定的電氣特性測定單元。

即，旋轉平臺具有圓盤形狀，且在外緣具備夾盤。若要在夾盤的停止位置的正下方配置電氣特性測定單元的載臺，則旋轉平臺的外緣會始終位于上側觸點與載臺兼下側觸點之間。因此，上側觸點無法朝向被載置于載臺兼下側觸點的電子零件下降。

而且，在夾盤的停止位置，除了旋轉平臺的外緣以外，還固定地設置有進退驅動部。從夾盤下端直至進退驅動部上端為止的高度超過上側觸點與載臺兼下側觸點之間的空間的高度。因此，將使上側觸點與載臺兼下側觸點相向配置的電氣特性測定單元配置到搬送路徑中，在物理上是不可能的。即使將上側觸點與載臺兼下側觸點之間擴大，但只要進退驅動部與旋轉平臺始終存在，便無法使上側觸點下降。

可考慮從夾盤外周設置型旋轉搬送方式的電子零件搬送裝置所構成的搬送路徑暫時卸載(unload)電子零件，利用往復移動裝置(shuttle)等來使電子零件在該搬送路徑與電氣特性測定單元之間往復。但是，難以使往復移動裝置的往復與旋轉平臺的高速的搬送速度一致，若采用該方式，則電子零件搬送裝置的動作將全部受限于往復移動裝置的搬送速度。即，夾盤外周設置型旋轉搬送方式的電子零件搬送裝置所具備的高速搬送這一優點將喪失。

本發明是為了解決如上所述的問題而提出，其目的在于，在夾盤外周設置型旋轉搬送方式的電子零件搬送裝置中，不會喪失高速搬送的優點，而能夠測定兩面電極的電子零件的電氣特性。

而且，除了電氣特性測定單元以外，在必須使載臺與結構物夾著搬送路徑而相向配置的情況下，也同樣難以納入夾盤外周設置型旋轉搬送方式的電子零件搬送裝置中。因此，本發明的目的在于進一步提供一種電子零件搬送裝置，其在夾盤外周設置型旋轉搬送方式的電子零件搬送裝置中，不會喪失高速搬送的優點，而能夠使載臺與結構物夾著搬送路徑而相向配置。

解決問題的技術手段