[發(fā)明專利]噴嘴頭，制造該噴嘴頭的方法和具有該噴嘴頭的液體供給設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580000944.1
• 申請日: 2015-07-30
• 公開（公告）號: CN106170876B
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李相昊;申權(quán)容;姜景太;姜熙錫;黃晙泳;曹觀鉉;姜敃圭
• 申請（專利權(quán)）人: 韓國生產(chǎn)技術(shù)研究院
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11243
• 代理人: 許靜,安利霞

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種噴嘴頭、一種制造所述噴嘴頭的方法和一種具有所述噴嘴頭的液體供給設(shè)備，并且更具體地說涉及一種用于持續(xù)射出精細(xì)液體流的噴嘴頭、一種制造所述噴嘴頭的方法和一種具有所述噴嘴頭的液體供給設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著不斷升級的信息行業(yè)的快速發(fā)展，高速傳遞信息讓人們能夠不受時間和場地的限制發(fā)送和接收信件、語音和圖像。

CRT-led信息傳遞媒體已經(jīng)得到了發(fā)展，現(xiàn)在諸如LCD、PDP、LED和UHD之類的大規(guī)模平板顯示器(其可能適合于人體工學(xué)功能和高功能性)以及諸如高速移動通信終端、PDA和網(wǎng)絡(luò)平板之類的小尺寸顯示器正在快速增加，并且顯示器市場已經(jīng)由于便利性而根據(jù)需求的突然上升不斷發(fā)展。

由于平板顯示器的高質(zhì)量和低功耗，各種應(yīng)用市場變得越來越活躍，并且OLED繼LCD和PDP之后作為下一代顯示器受到普遍關(guān)注。

自從柯達(dá)公司的Tang于1987年成功地從具有堆棧結(jié)構(gòu)的有機(jī)材料發(fā)出高亮度的光以來，OLED迄今為止已經(jīng)取得了許多技術(shù)上的進(jìn)步。

OLED在亮度、對比度、響應(yīng)速度、彩色再現(xiàn)度和可視度方面具有極好的屏幕質(zhì)量，并且因?yàn)楣に嚭唵嗡猿杀竞艿停虼薕LED被視為所謂的理想顯示器。

然而，OLED使用壽命較短且合格率較低，因此商業(yè)化存在困難，由于LCD相關(guān)技術(shù)的快速進(jìn)步在很大程度上限制了OLED進(jìn)入市場，因此OLED的商業(yè)化受到了延遲。

近年來，由于世界顯示器行業(yè)的差不多所有技術(shù)問題都得到了解決，所以日本和臺灣包括韓國的相關(guān)企業(yè)已經(jīng)開始量產(chǎn)OLED。

OLED是這樣一種顯示設(shè)備，其中通過正電極和負(fù)電極注入到有機(jī)薄膜中的空穴和電子彼此再耦合以形成激子，在激子返回穩(wěn)定狀態(tài)時發(fā)出的能量再次轉(zhuǎn)化成光，同時發(fā)光。

最簡單的OLED包含用于射出電子的負(fù)電極、用于射出空穴的正電極和用于發(fā)光的有機(jī)薄膜，并且進(jìn)一步包含功能層，功能層說明射出和傳遞電子和空穴，以改善載流子的再耦合和發(fā)光特性。

有機(jī)薄膜形成技術(shù)包含使用精細(xì)金屬掩模(FMM)的大面積沉積技術(shù)、使用激光的圖案化技術(shù)，以及使用液基油墨材料的印刷技術(shù)。

大面積沉積技術(shù)分類成沉積源技術(shù)和掩模技術(shù)，并且沉積源技術(shù)包含根據(jù)相關(guān)技術(shù)的點(diǎn)沉積源、用于近年來的大面積沉積的線沉積源、氣體沉積技術(shù)和根據(jù)沉積方向的垂直和水平沉積源，并且掩模技術(shù)包含對準(zhǔn)器機(jī)構(gòu)技術(shù)和圖案掩模技術(shù)。

此外，印刷技術(shù)可以包含使用高分子發(fā)光溶液和導(dǎo)電溶液、膠版、凹板和柔性版的噴墨打印。

印刷技術(shù)具有用于將液體移動到噴嘴頭并且排出液體的結(jié)構(gòu)。

同時，當(dāng)期望應(yīng)用印刷技術(shù)來形成OLED像素時，必須通過噴嘴頭精細(xì)且持續(xù)地射出液體。

為了滿足這些要求，已經(jīng)研發(fā)出各種結(jié)構(gòu)和形狀的噴嘴，但是持續(xù)射出液體方面存在限制，這是因?yàn)檫@些噴嘴的結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，而且射出液體流較大。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是試圖解決上述問題，并且提供一種噴嘴頭和制造所述噴嘴頭的方法，所述噴嘴頭可以從初始射出階段精細(xì)地并且持續(xù)地射出液體流，并且可以自由地調(diào)整從噴嘴射出的液體的供給和中斷。

本發(fā)明還提供一種具有噴嘴頭的液體供給設(shè)備，所述噴嘴頭可以均勻地涂覆100nm或更薄的薄膜，而不會產(chǎn)生不良產(chǎn)品。

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供一種噴嘴頭，其包括：噴嘴基板；噴嘴尖端，其從所述噴嘴基板的下表面朝下突起，并且噴嘴孔朝上和朝下穿過所述噴嘴尖端；回避凹座，其形成在所述噴嘴尖端的外周上，并且從所述噴嘴基板的下表面朝向所述噴嘴基板的上表面凹陷；以及引入凹座，其形成在所述噴嘴基板的所述上表面上，使得用于供給液體的管線聯(lián)接到所述引入凹座。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，提供一種噴嘴頭，其包括：噴嘴基板；噴嘴尖端，其從所述噴嘴基板的下表面朝下突起，并且噴嘴孔朝上和朝下穿過所述噴嘴尖端；回避凹座，其形成在所述噴嘴尖端的外周上，并且從所述噴嘴基板的下表面朝向所述噴嘴基板的上表面凹陷；真空形成孔，其布置成與所述噴嘴尖端隔開，并且穿過所述噴嘴基板的上表面和下表面；移動凹座，其在所述噴嘴基板的所述下表面上凹陷，并且使所述真空形成孔與所述回避凹座連通；以及一片玻璃，其附著到所述噴嘴基板的所述下表面，并且其中所述一片玻璃的面對所述噴嘴尖端的部分帶有孔。

流動空間形成在所述移動凹座的底部與所述玻璃的上表面之間，液體流過所述流動空間，或者真空施加于所述流動空間。

與噴嘴孔連通的溶液供給管線和與所述真空形成孔連通的真空/清洗液體施加管線連接到所述噴嘴基板的上表面。