[發(fā)明專利]玻璃基板的制造方法、玻璃基板及玻璃基板層疊體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580000217.5
• 申請日: 2015-06-30
• 公開（公告）號: CN105431385B
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發(fā)明（設計）人: 藤本慎吾;鈴木駿介
• 申請（專利權）人: 安瀚視特控股株式會社
• 主分類號: C03B5/225
• 分類號: C03B5/225
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 田喜慶;吳孟秋

玻璃基板的制造方法，不易在玻璃基板發(fā)生應變、不易形成玻璃基板的主表面的凹凸，包括：熔融玻璃處理步驟，在因熔融玻璃的導入而形成氣相空間、且壁的至少一部分是由鉑族金屬制成的玻璃處理裝置中處理熔融玻璃時，存在于氣相空間的、從壁揮發(fā)的鉑族金屬的揮發(fā)物的凝集物作為異物混入；以及凝集物處理步驟，縮小凝集物的大小，使得在該熔融玻璃處理步驟中混入熔融玻璃的凝集物中，最大長度為50μm以下的凝集物的個數的比例為70％以上。玻璃基板層疊體的玻璃基板的體積總計為0.1m³以上，玻璃基板所含有的全部鉑族金屬凝集物中，最大長度為50μm以下的凝集物的個數的比例為70％以上。

技術領域

本發(fā)明涉及玻璃基板的制造方法、玻璃基板及玻璃基板層疊體。

背景技術

一般，玻璃基板是通過從玻璃原料生成熔融玻璃之后，經過澄清步驟、均質化步驟并使熔融玻璃成形為玻璃基板而制造的。但是，為了從高溫的熔融玻璃批量生產高品質的玻璃基板，期望考慮使成為玻璃基板的缺陷主因的異物等不從制造玻璃基板的任一玻璃處理裝置混入至熔融玻璃。因此，在玻璃基板的制造過程中與熔融玻璃接觸的部件的壁必須根據與該部件接觸的熔融玻璃的溫度、所要求的玻璃基板的品質等而由適當的材料構成。

例如，在生成熔融玻璃后至供給至成形步驟的期間，熔融玻璃為極高溫狀態(tài)，因此，進行熔融、澄清、供給、攪拌的裝置采用含有作為耐熱性高的鉑族金屬的鉑的部件(例如，專利文獻1)。

現(xiàn)有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：特開2010-111533號公報

發(fā)明內容

發(fā)明要解決的技術問題

然而，鉑族金屬容易因高溫而揮發(fā)。而且，鉑族金屬的揮發(fā)物凝集時，作為該凝集物的結晶的一部分以異物形式混入熔融玻璃中，有導致玻璃基板質量下降之憂。特別是，從熔解步驟至成形步驟之間，澄清步驟是熔融玻璃的溫度最高的步驟，故主要進行澄清步驟的澄清管被加熱到極高的溫度。因此，在澄清步驟后的熔融玻璃中，從澄清管揮發(fā)的鉑族金屬凝集而得的凝集物的一部分容易混入其中而成為異物。

當在玻璃基板制造過程中混入有鉑族金屬的異物時，將產生如下問題：由于鉑族金屬的異物和玻璃的熱膨脹系數之差，在玻璃基板中產生應變，該應變會引起顯示器的顯示不良；或者，鉑族金屬會存在于玻璃基板的主表面附近而在玻璃基板的主表面上形成凹凸，從而不能均勻地進行設于主表面上的薄膜晶體管(TFT)的形成，導致產生顯示器的顯示不良。近年來，隨著圖像顯示裝置的畫面顯示的高清晰化，就用于顯示器的玻璃基板而言，進一步強烈要求降低混入玻璃基板內的鉑族金屬的異物。

這樣，優(yōu)選降低混入玻璃基板的鉑族金屬的異物(凝集物)的量。然而，成形前的熔融玻璃的溫度極高，特別是在進行澄清步驟的澄清管中，不能從澄清管的氣相空間氣氛中排除作為誘發(fā)鉑族金屬揮發(fā)的原因的氧，故不能完全消除鉑族金屬的揮發(fā)。另外，在澄清管中，不能使作為產生鉑族金屬的揮發(fā)物的凝集的原因的裝置內壁面的溫度差為0，也不能完全消除鉑族金屬的揮發(fā)。因此，難以在制造過程中完全阻止鉑族金屬的異物(凝集物)混入熔融玻璃中。

因而，本發(fā)明的目的在于，提供一種即使在玻璃基板中混入有鉑族金屬的異物(凝集物)也難以產生上述問題的玻璃基板的制造方法、玻璃基板及玻璃基板層疊體。

用于解決技術問題的方案