[實用新型]一種光刻膠噴頭的自動清洗裝置

有效

• 申請號: 201521127452.2
• 申請日: 2015-12-29
• 公開（公告）號: CN205341179U
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發明（設計）人: 呂耀安;翟繼鑫
• 申請（專利權）人: 無錫宏納科技有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05B15/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 張海英;徐鵬飛

1.一種光刻膠噴頭的自動清洗裝置，包括清洗箱，其特征在于，所述清洗箱上部設置有清洗槽，所述清洗槽底部設置有檢測光刻膠噴頭的位置的位置傳感器、根據所述位置傳感器的檢測信號開啟或關斷動力泵的控制器，所述自動清洗裝置還包括位于所述清洗箱的內腔的清洗液儲存箱和沖洗管，所述動力泵的一端連接所述清洗液儲存箱，另一端連接所述沖洗管，所述沖洗管的出液口連接所述清洗槽。

2.根據權利要求1所述的自動清洗裝置，其特征在于，所述清洗槽與所述光刻膠噴頭的形狀相適應。

3.根據權利要求2所述的自動清洗裝置，其特征在于，所述沖洗管的出液口設置在所述清洗槽的內側面上。

4.根據權利要求3所述的自動清洗裝置，其特征在于，當所述光刻膠噴頭為圓臺形時，所述沖洗管的出液口有三個，均勻分布在所述清洗槽的內側面同一高度的截面的圓周上。

5.根據權利要求1所述的自動清洗裝置，其特征在于，還包括連接所述清洗液儲存箱的入液管，所述入液管的入液口設置在所述清洗箱的側面。

6.根據權利要求1所述的自動清洗裝置，其特征在于，還包括將使用過后的清洗液排出清洗箱的排液管，所述排液管連接所述清洗槽，所述排液管的出液口設置在所述清洗箱的底部。

7.根據權利要求1所述的自動清洗裝置，其特征在于，還包括將清洗過后的光刻膠噴頭烘干的烘干機，所述烘干機設置在所述清洗箱的上端。