[實用新型]一種用于多晶硅生產的氣路控制裝置

有效

• 申請號: 201521106399.8
• 申請日: 2015-12-25
• 公開（公告）號: CN205298774U
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 閆志偉;薛海軍;曹文江;張清嶺
• 申請（專利權）人: 內蒙古神舟硅業有限責任公司
• 主分類號: F16K31/122
• 分類號: F16K31/122;F16K31/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域：

本實用新型涉及多晶硅行業過程控制的生產技術領域，特別是涉 及一種用于多晶硅生產的氣路控制裝置。

背景技術：

在多晶硅行業控制生產過程中，通過電磁閥控制執行器繼而控制 閥體的閥門開閉來控制物料的走向。當接到開指令時，電磁閥線圈得 電，電磁閥閥桿吸合，壓縮空氣通過電磁閥進入執行器氣缸，壓縮空 氣通過活塞運動帶動齒輪進而帶動閥體的閥桿轉動使閥門打開，同時 活塞又會推動執行器中的彈簧壓縮。當接到關指令時，電磁閥線圈失 電，閥門關閉，壓縮空氣無法進入執行器氣缸，造成執行器中的彈簧 力大于執行器中的壓縮空氣壓力，使執行器中的彈簧復位，彈簧復位 時推動執行器中的活塞進而活塞帶動齒輪復位，將閥門關閉，同時執 行器中的壓縮空氣從電磁閥的排氣孔中排出。目前單作用氣動切斷球 閥會導致閥體長時間走酸性物料造成閥座老化變形，造成閥門阻力變 大，無法自動關閉到位；另執行器長時間在現場工作造成彈簧腐蝕， 伸縮力下降，無法驅動閥門自動關閉；

實用新型內容：

本實用新型的目的在于提供一種用于多晶硅生產的氣路控制裝 置，解決目前的控制裝置在長期腐蝕作用下，閥門無法正常關閉到位， 存在物料內漏的問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種用于多晶硅生產 的氣路控制裝置，其包括閥體、執行器和電磁閥，所述閥體的閥桿與 所述執行器的輸出軸同軸固定連接；所述執行器內密封相對滑動設有 兩個活塞，兩個所述活塞將所述執行器內腔分為一個執行腔和兩個緩 沖腔，兩個所述活塞之間的腔體為所述執行腔，所述活塞與對應的所 述執行器端壁之間形成所述緩沖腔，在所述執行腔內轉動設有所述輸 出軸，所述輸出軸與兩個所述活塞嚙合；在所述執行腔的外壁上設有 執行進氣孔，其特征在于，在所述緩沖腔外壁上設有緩沖進氣孔；所 述執行進氣孔和所述緩沖進氣孔分別通過管道與所述電磁閥的兩個 出氣孔連通；所述電磁閥的進氣孔與氣源通過管道連通。

進一步，所述電磁閥為二位五通電磁閥。

本實用新型的優點：本實用新型提供的一種用于多晶硅生產的氣 路控制裝置通過選用二位五通電磁閥控制執行器繼而控制閥體的閥 門開閉來控制物料的走向，同時增加一路從電磁閥的第二出氣孔到執 行器的緩沖進氣孔的第二氣源管，使電磁閥在關閉時，電磁閥與第二 出氣孔連通，此時壓縮空氣可以從第二出氣孔進入執行器的緩沖進氣 孔中，使得在彈簧用力復位的同時，執行器的緩沖進氣孔進來的壓縮 空氣推動兩個活塞相對運動，與彈簧一同用力將閥門正常關閉，避免 因執行器長期使用受到腐蝕情況下導致閥門無法正常關閉的問題。

附圖說明：

圖1為本實用新型提供的一種用于多晶硅生產的氣路控制裝置 的主視圖；

圖2為本實用新型提供的一種執行器的俯視圖。

附圖說明如下：1、閥體；2、執行器；201、執行進氣孔；202、 緩沖進氣孔；203、彈簧；204、活塞；205、輸出軸；3、電磁閥；301、 第一出氣孔；302、第二出氣孔；303、進氣孔；4、第一氣源管；5、 第二氣源管。

具體實施方式：

為使本實用新型要解決的技術問題、技術方案和優點更加清楚， 下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。(所述輸出軸為花鍵軸， 在兩個所述活塞的相對面上均設有齒條，)

如圖1所示，在本實用新型的實施例中，提供了一種用于多晶硅 生產的氣路控制裝置，其包括閥體1、執行器2和二位五通電磁閥3， 閥體1的閥桿與執行器2的輸出軸205同軸固定連接；執行器2內密 封相對滑動設有兩個活塞204，兩個活塞204將執行器2內腔分為一 個執行腔和兩個緩沖腔，兩個活塞204之間的腔體為執行腔，活塞 204與對應的執行器2端壁之間形成緩沖腔，在執行腔內轉動設有輸 出軸205，輸出軸205為花鍵軸，在兩個活塞204的相對面上均設有 齒條，輸出軸205與兩個活塞204嚙合；在緩沖腔的外壁上設有執行 進氣孔201，在緩沖腔外壁上設有緩沖進氣孔202；執行進氣孔201 通過第一氣源管4與電磁閥3的第一出氣孔301連接，緩沖進氣孔 202通過第二氣源管5與電磁閥3的第二出氣孔302連接；電磁閥3 的進氣孔303與氣源通過管道連通。當電磁閥3通電時，電磁閥3的 進氣孔303與第一出氣孔301連通，斷電時，電磁閥3的進氣孔303 與第二出氣孔302連通。