[實用新型]一種用于多晶硅生產的氣路控制裝置

有效

• 申請號: 201521106399.8
• 申請日: 2015-12-25
• 公開（公告）號: CN205298774U
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 閆志偉;薛海軍;曹文江;張清嶺
• 申請（專利權）人: 內蒙古神舟硅業有限責任公司
• 主分類號: F16K31/122
• 分類號: F16K31/122;F16K31/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于多晶硅生產的氣路控制裝置，其包括閥體、執行器和電磁閥，所述閥體的閥桿與所述執行器的輸出軸同軸固定連接；所述執行器內密封相對滑動設有兩個活塞，兩個所述活塞將所述執行器內腔分為一個執行腔和兩個緩沖腔，兩個所述活塞之間的腔體為所述執行腔，所述活塞與對應的所述執行器端壁之間形成所述緩沖腔，在所述執行腔內轉動設有所述輸出軸，所述輸出軸與兩個所述活塞嚙合；在所述執行腔的外壁上設有執行進氣孔，其特征在于，在所述緩沖腔外壁上設有緩沖進氣孔；所述執行進氣孔和所述緩沖進氣孔分別通過氣源管與所述電磁閥的兩個出氣孔連通；所述電磁閥的進氣孔與氣源通過管道連通。

2.根據權利要求1所述的一種用于多晶硅生產的氣路控制裝置，其特征在于，所述電磁閥為二位五通電磁閥。