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[實用新型]負壓攪拌式反應釜有效

專利信息
申請號: 201521099364.6 申請日: 2015-12-23
公開(公告)號: CN205235922U 公開(公告)日: 2016-05-18
發明(設計)人: 劉玉嶺;顧張冰;王娟 申請(專利權)人: 天津晶嶺微電子材料有限公司
主分類號: B01J3/04 分類號: B01J3/04;B01J3/02
代理公司: 天津市三利專利商標代理有限公司 12107 代理人: 楊紅
地址: 300130 天津市南開*** 國省代碼: 天津;12
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 攪拌 反應
【權利要求書】:

1.一種負壓攪拌式反應釜,包括筒體和上、下封頭構成整體反應釜結 構,其特征是:所述上封頭設有真空泵接口,所述下封頭設有氣流噴射口, 所述下封頭縱向截面形狀呈橢圓形,所述下封頭上方間隔固接有曲面擋 板,所述曲面擋板與筒體及下封頭形成的角壁之間構成氣流引導區。

2.根據權利要求1所述的負壓攪拌式反應釜,其特征是:所述真空 泵接口置于上封頭中央。

3.根據權利要求1所述的負壓攪拌式反應釜,其特征是:所述氣流 噴射口置于下封頭中央。

4.根據權利要求1所述的負壓攪拌式反應釜,其特征是:所述曲面 擋板縱向截面形狀呈橢圓形并與下封頭形狀匹配,曲面擋板的橢圓形長軸 和短軸<下封頭橢圓形長軸和短軸。

5.根據權利要求1或4所述的負壓攪拌式反應釜,其特征是:所述 曲面擋板的長軸和短軸尺寸小于下封頭橢圓形的長軸和短軸尺寸為20mm。

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