[實用新型]一種沉積爐測溫裝置

有效

• 申請號: 201521087074.X
• 申請日: 2015-12-23
• 公開（公告）號: CN205295455U
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 胡耀明
• 申請（專利權）人: 池州山立分子篩有限公司
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26;G01K7/02
• 代理公司: 蘇州市指南針專利代理事務所(特殊普通合伙) 32268
• 代理人: 許希富

1.一種沉積爐測溫裝置，包括沉積爐、蓋板，其特征在于還包括固定套、第一 密封座、第一壓蓋、氮氣噴氣管、第二密封座、第二壓蓋、熱電偶，所述的固 定套貫穿蓋板，所述的固定套與蓋板焊接相連，所述的第一密封座位于固定套 頂部，所述的第一密封座與固定套焊接相連，所述的第一壓蓋位于第一密封座 上端，所述的第一壓蓋與第一密封座螺紋相連，所述的氮氣噴氣管貫穿第一壓 蓋且貫穿第一密封座，所述的氮氣噴氣管與第一壓蓋間隙相連且與第一密封座 間隙相連，所述的第二密封座位于氮氣噴氣管頂部，所述的第二密封座與氮氣 噴氣管焊接相連，所述的第二壓蓋位于第二密封座上端，所述的第二壓蓋與第 二密封座螺紋相連，所述的熱電偶貫穿第二壓蓋且貫穿第二密封座，所述的熱 電偶與第二壓蓋間隙相連且與第二密封座間隙相連。

2.如權利要求1所述的沉積爐測溫裝置，其特征在于所述的第一密封座還設有 第一密封圈，所述的第一密封圈位于氮氣噴氣管外壁，所述的第一密封圈與第 一密封座緊配相連且與氮氣噴氣管彈性相連。

3.如權利要求2所述的沉積爐測溫裝置，其特征在于所述的氮氣噴氣管外壁上 端左側還設有噴氣接頭，所述的噴氣接頭與氮氣噴氣管焊接相連。

4.如權利要求3所述的沉積爐測溫裝置，其特征在于所述的氮氣噴氣管底部還 設有分氣盤，所述的分氣盤位于熱電偶外壁，所述的分氣盤與氮氣噴氣管螺紋 相連且與熱電偶間隙相連。

5.如權利要求4所述的沉積爐測溫裝置，其特征在于所述的分氣盤還設有若干 分氣孔，所述的分氣孔貫穿分氣盤，所述的分氣孔均布于分氣盤。

6.如權利要求5所述的沉積爐測溫裝置，其特征在于所述的第二密封座還設有 第二密封圈，所述的第二密封圈位于熱電偶外壁，所述的第二密封圈與第二密 封座緊配相連且與熱電偶彈性相連。