[實(shí)用新型]一種直流電子束軌跡測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201521071940.6
• 申請(qǐng)日: 2015-12-20
• 公開（公告）號(hào): CN205333869U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張志豪;張晰哲;王妍;鄧永鋒;孫斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安航天動(dòng)力研究所
• 主分類號(hào): G01T5/10
• 分類號(hào): G01T5/10
• 代理公司: 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 61211
• 代理人: 楊亞婷

1.一種直流電子束軌跡測(cè)量裝置，其特征在于：包括一個(gè)或多個(gè)金屬膜(22)、真空艙(3)、法拉第筒(4)、高壓電源(5)、電流表(6)、真空泵組(7)及支撐結(jié)構(gòu)，所述真空艙(3)的一端與直流電子束源(1)連接，所述真空艙(3)的另一端與法拉第筒(4)連接；一個(gè)或多個(gè)金屬膜(22)布置于真空艙內(nèi)，并位于直流電子束軌跡上的不同位置；所述真空泵組(7)與真空艙(3)連接用于真空艙的抽真空；所述高壓電源(5)與直流電子束源(1)連接，使電子束源發(fā)射直流電子束；所述法拉第筒(4)用于接收直流電子束流；所述電流表(6)與法拉第筒(4)連接，用于電流測(cè)量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直流電子束軌跡測(cè)量裝置，其特征在于：所述金屬膜為鈦膜，所述金屬膜的厚度小于等于0.1mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直流電子束軌跡測(cè)量裝置，其特征在于：所述直流電子束軌跡測(cè)量裝置還包括測(cè)量軸(21)，所述測(cè)量軸沿其軸向設(shè)置有通孔，所述通孔的直徑為電子束預(yù)估直徑的4倍以上，所述測(cè)量軸(21)安裝于真空艙(3)內(nèi)，所述一個(gè)或多個(gè)金屬膜(22)安裝于測(cè)量軸(21)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直流電子束軌跡測(cè)量裝置，其特征在于：所述測(cè)量軸的內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋；所述直流電子束軌跡測(cè)量裝置還包括多個(gè)永磁透鏡(23)和多個(gè)永磁透鏡支座(26)，永磁透鏡通過永磁透鏡支座(26)安裝于測(cè)量軸通孔內(nèi)，永磁透鏡支座(26)與測(cè)量軸通孔螺紋連接，永磁透鏡(23)與金屬膜間隔排布。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的直流電子束軌跡測(cè)量裝置，其特征在于：

所述測(cè)量軸的外壁設(shè)置有螺紋，所述直流電子束軌跡測(cè)量裝置還包括多個(gè)電磁透鏡(24)和多個(gè)電磁透鏡支座(27)，電磁透鏡通過電磁透鏡支座(27)安裝于測(cè)量軸通孔內(nèi)，電磁透鏡支座(27)與測(cè)量軸外壁螺紋連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直流電子束軌跡測(cè)量裝置，其特征在于：

所述測(cè)量軸的外壁設(shè)置有螺紋，所述直流電子束軌跡測(cè)量裝置還包括多個(gè)電磁透鏡(24)和多個(gè)電磁透鏡支座(27)，電磁透鏡通過電磁透鏡支座(27)安裝于測(cè)量軸通孔內(nèi)，電磁透鏡支座(27)與測(cè)量軸外壁螺紋連接。