[實用新型]磁控濺射鍍膜機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201521061849.6
• 申請日: 2015-12-18
• 公開（公告）號: CN205258594U
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔娜;朱輝;閆麗娜;張衛(wèi);康林杰;郄奕
• 申請（專利權(quán)）人: 河北東同光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 石家莊元匯專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 13115
• 代理人: 劉聞鐸

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于靶材制造領(lǐng)域，具體涉及磁控濺射鍍膜機。

背景技術(shù)

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當(dāng) 工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。其中基板經(jīng)過制粉、 煅燒、燒結(jié)之后，制成基板毛料，基板毛料經(jīng)過平面磨床拋光打磨之后進(jìn) 行濺射鍍膜，目前所采用的基板鍍膜機，多數(shù)采用濺射器移動而基板固定 的方式進(jìn)行生產(chǎn)，此種方式比較節(jié)能，并且設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，便于操作，但 是由于濺射器所涉及設(shè)備體量較大，移動不便，容易造成鍍膜厚度不均勻。

實用新型內(nèi)容

本實用新型為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實用新型提供了 磁控濺射鍍膜機，能夠避免鍍膜不均勻的問題，提高基板生產(chǎn)合格率。

本實用新型采用的具體技術(shù)方案是：

磁控濺射鍍膜機，包括呈密封結(jié)構(gòu)的殼體，殼體內(nèi)安裝有濺射器，所 述殼體內(nèi)設(shè)置有基板安裝架，所述的基板安裝架為圓筒形結(jié)構(gòu)，基板安裝 架外側(cè)壁上設(shè)置有基板安裝位，基板安裝架動力連接有電動機，電動機的 軸線與基板安裝架軸線重合設(shè)置，電動機固定設(shè)置在殼體底面，基板安裝 架還連接有負(fù)極連接線。

所述的基板安裝位包括設(shè)置在基板安裝架的外側(cè)壁并且上、下相對的 上固定槽及下固定槽，上固定槽及下固定槽都為U型槽體結(jié)構(gòu)，上固定槽 及下固定槽環(huán)繞基板安裝架設(shè)置有多組。

所述的上固定槽與基板安裝架固定連接，下固定槽借助基板安裝架上 設(shè)置的安裝槽形成活動連接，安裝槽內(nèi)設(shè)置有彈簧，彈簧設(shè)置在下固定槽 底面與安裝槽底面之間，所述的下固定槽側(cè)壁還設(shè)置有限位臺，限位臺與 安裝槽內(nèi)設(shè)置的限位槽形成限位配合。

所述的負(fù)極連接線與電動機之間借助石墨套環(huán)連接，石墨套環(huán)套裝在 電動機輸出軸上。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型，采用旋轉(zhuǎn)的基板安裝架將基板裝設(shè)在殼體內(nèi)進(jìn)行濺射鍍 膜，與現(xiàn)有的濺射器移動、基板固定的方式相比，基板移動更加靈活、速 度容易保證，鍍膜更加穩(wěn)定，能夠有效避免發(fā)生鍍膜不均勻的問題，生產(chǎn) 效率更高。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為下固定槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖中，1、殼體，2、濺射器，3、基板安裝架，4、電動機，5、負(fù)極 連接線，6、上固定槽，7、下固定槽，8、安裝槽，9、彈簧，10、限位臺， 11、限位槽，12、石墨套環(huán)。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖及具體實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明：

具體實施例如圖1及圖2所示，本實用新型為磁控濺射鍍膜機，包括 呈密封結(jié)構(gòu)的殼體1，殼體1內(nèi)安裝有濺射器2，所述殼體1內(nèi)設(shè)置有基板 安裝架3，所述的基板安裝架3為圓筒形結(jié)構(gòu)，基板安裝架3外側(cè)壁上設(shè)置 有基板安裝位，基板安裝架3動力連接有電動機4，電動機4的軸線與基板 安裝架3軸線重合設(shè)置，電動機4固定設(shè)置在殼體1底面，基板安裝架還 連接有負(fù)極連接線5。本實用新型在使用時，濺射器1帶正電，基板安裝架 帶負(fù)電，殼體1內(nèi)為真空環(huán)境，并灌入帶電的鍍膜離子，在濺射器1及基 板安裝架之間的電場中，帶電的鍍膜用離子加速撞擊基板形成鍍層。

為了方便將基板安裝到安裝位中，所述的基板安裝位包括設(shè)置在基板 安裝架3的外側(cè)壁并且上、下相對的上固定槽6及下固定槽7，上固定槽6 及下固定槽7都為U型槽體結(jié)構(gòu)，上固定槽6及下固定槽7環(huán)繞基板安裝 架3設(shè)置有多組。

所述的上固定槽6與基板安裝架3固定連接，下固定槽7借助基板安 裝架3上設(shè)置的安裝槽8形成活動連接，安裝槽8內(nèi)設(shè)置有彈簧9，彈簧9 設(shè)置在下固定槽7底面與安裝槽8底面之間，所述的下固定槽7側(cè)壁還設(shè) 置有限位臺10，限位臺10與安裝槽8內(nèi)設(shè)置的限位槽11形成限位配合。

為了降低負(fù)極連接線的斷路風(fēng)險，所述的負(fù)極連接線5與電動機4之 間借助石墨套環(huán)12連接，石墨套環(huán)12套裝在電動機4輸出軸上。

本實用新型，在使用時將基板安裝到設(shè)備中，借助于下固定槽將基板 卡接在機板安裝架上，采用旋轉(zhuǎn)的基板安裝架將基板裝設(shè)在殼體內(nèi)進(jìn)行濺 射鍍膜，與現(xiàn)有的濺射器移動、基板固定的方式相比，基板移動更加靈活、 速度容易保證，鍍膜更加穩(wěn)定，能夠有效避免發(fā)生鍍膜不均勻的問題，生 產(chǎn)效率更高。