[實用新型]磁控濺射鍍膜機

有效

• 申請號: 201521061849.6
• 申請日: 2015-12-18
• 公開（公告）號: CN205258594U
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發明（設計）人: 崔娜;朱輝;閆麗娜;張衛;康林杰;郄奕
• 申請（專利權）人: 河北東同光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 石家莊元匯專利代理事務所(特殊普通合伙) 13115
• 代理人: 劉聞鐸

1.磁控濺射鍍膜機，包括呈密封結構的殼體(1)，殼體(1)內安裝 有濺射器(2)，所述殼體(1)內設置有基板安裝架(3)，其特征在于：所 述的基板安裝架(3)為圓筒形結構，基板安裝架(3)外側壁上設置有基 板安裝位，基板安裝架(3)動力連接有電動機(4)，電動機(4)的軸線 與基板安裝架(3)軸線重合設置，電動機(4)固定設置在殼體(1)底面， 基板安裝架還連接有負極連接線(5)。

2.根據權利要求1所述磁控濺射鍍膜機，其特征在于：所述的基板安 裝位包括設置在基板安裝架(3)的外側壁并且上、下相對的上固定槽(6) 及下固定槽(7)，上固定槽(6)及下固定槽(7)都為U型槽體結構，上 固定槽(6)及下固定槽(7)環繞基板安裝架(3)設置有多組。

3.根據權利要求2所述磁控濺射鍍膜機，其特征在于：所述的上固定 槽(6)與基板安裝架(3)固定連接，下固定槽(7)借助基板安裝架(3) 上設置的安裝槽(8)形成活動連接，安裝槽(8)內設置有彈簧(9)，彈 簧(9)設置在下固定槽(7)底面與安裝槽(8)底面之間，所述的下固定 槽(7)側壁還設置有限位臺(10)，限位臺(10)與安裝槽(8)內設置的 限位槽(11)形成限位配合。

4.根據權利要求1所述磁控濺射鍍膜機，其特征在于：所述的負極連 接線(5)與電動機(4)之間借助石墨套環(12)連接，石墨套環(12) 套裝在電動機(4)輸出軸上。