[實用新型]一種可拆卸進液裝置有效
| 申請號: | 201521053746.5 | 申請日: | 2015-12-16 |
| 公開(公告)號: | CN205211716U | 公開(公告)日: | 2016-05-04 |
| 發明(設計)人: | 張淋;程強強;霍召軍 | 申請(專利權)人: | 蘇州寶馨科技實業股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝傳鑫 |
| 地址: | 215151 江蘇省蘇州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 可拆卸 裝置 | ||
1.一種可拆卸進液裝置,其特征在于:其包括進液管(1)和連接管(7),
所述進液管(1)設置于槽體(9)的底部,所述進液管(1)上設置有連接 口(4)和若干個出液孔(2),所述出液孔(2)靠近所述槽體(9)的底板(5);
所述連接管(7),其貫穿所述底板(5)并與所述底板(5)相焊接,所述 連接管(7)與所述連接口(4)可拆卸連接。
2.根據權利要求1所述的可拆卸進液裝置,其特征在于:所述進液裝置還 包括堵頭(3)、密封圈(6)和輸送管路(10),所述堵頭(3)安裝于進液管(1) 的兩端,所述密封圈(6)套設于所述連接管(7)的管口處,所述連接管(7) 與所述連接口(4)通過密封圈(6)可拆卸密封連接,所述輸送管路(10)從 所述槽體(9)外部連接至所述連接管(7)。
3.根據權利要求1或2所述的可拆卸進液裝置,其特征在于:沿所述進液 管(1)的長度方向上,所述出液孔(2)靠近所述進液管(1)的中間。
4.根據權利要求1或2所述的可拆卸進液裝置,其特征在于:所述進液管 (1)的直徑為20-40mm。
5.根據權利要求1或2所述的可拆卸進液裝置,其特征在于:所述出液孔 (2)的直徑為5-15mm。
6.根據權利要求1所述的可拆卸進液裝置,其特征在于:所述進液管(1) 的直徑與所述連接口(4)的口徑相等。
7.根據權利要求1所述的可拆卸進液裝置,其特征在于:所述進液裝置還 包括用于支撐所述進液管(1)的支撐座(8),所述支撐座(8)設置于所述槽 體(9)內的底板(5)上。
8.根據權利要求1所述的可拆卸進液裝置,其特征在于:所述連接口(4) 在垂直于所述進液管(1)的軸向方向上貫穿所述進液管(1)。
9.根據權利要求8所述的可拆卸進液裝置,其特征在于:所述進液管(1) 的直徑小于所述連接管(7)的直徑。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





