[實(shí)用新型]一種蒸鍍工藝用掩膜版有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201521047084.0 | 申請(qǐng)日： | 2015-12-15 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN206015072U | 公開（公告）日： | 2017-03-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉海;王忠春;孫田雨;吳健 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海天馬有機(jī)發(fā)光顯示技術(shù)有限公司;天馬微電子股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23C14/04 | 分類號(hào)： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201201 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 工藝 用掩膜版 | ||
【說(shuō)明書】：
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C23 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
