[實用新型]一種蒸鍍工藝用掩膜版有效
| 申請號： | 201521047084.0 | 申請日： | 2015-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN206015072U | 公開（公告）日： | 2017-03-15 |
| 發明（設計）人： | 劉海;王忠春;孫田雨;吳健 | 申請（專利權）人： | 上海天馬有機發光顯示技術有限公司;天馬微電子股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201201 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 工藝 用掩膜版 | ||
【權利要求書】：
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