[實用新型]一種化學氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 201521042165.1
• 申請日: 2015-12-15
• 公開（公告）號: CN205188435U
• 公開（公告）日: 2016-04-27
• 發明（設計）人: 曹玉霞
• 申請（專利權）人: 唐山學院
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京迎碩知識產權代理事務所(普通合伙) 11512
• 代理人: 張群峰;呂良

1.一種化學氣相沉積裝置，包括加熱爐，加熱爐具有密閉的爐 膛和設置在爐膛外周的加熱體，爐膛中部設置有熱電偶，爐膛具有氣 體入口和氣體出口；其特征在于，還包括并聯的載氣流路和稀釋氣流 路，二者都與爐膛的氣體入口連接；載氣流路中設置有汽化器，液相 原料在汽化器中汽化后由載氣攜帶進入加熱爐中進行氣相沉積。

2.根據權利要求1所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，汽 化器包括控溫油浴鍋。

3.根據權利要求1所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，載 氣流路和稀釋氣流路中分別設置有氣體流量計。

4.根據權利要求1所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，還 包括尾氣凈化裝置，與爐膛的氣體出口連接。

5.根據權利要求1所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，還 包括位于爐膛中的基體支撐件。

6.根據權利要求1所述的化學氣相沉積裝置，其特征在于，還 包括控制器，用來控制加熱爐溫度和氣體流量。