[實用新型]一種晶元芯片檢測頭組件

有效

• 申請號: 201521035600.8
• 申請日: 2015-12-12
• 公開（公告）號: CN205231022U
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發明（設計）人: 楊會會
• 申請（專利權）人: 普鑠電子(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及自動化檢測技術領域，尤其涉及一種晶元芯片檢測頭 組件。

背景技術

晶元(Wafer)，是生產集成電路所用的載體，多指單晶硅圓片，單 晶硅圓片由普通硅砂拉制提煉，經過溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單 晶硅棒，單晶硅棒經過拋光、切片之后，就成為了晶元。一個圓盤狀的晶 元片上分布有很多一格格的晶元，晶元在封裝制造成芯片之前需要對其性 能進行檢測，由于一個晶元上存在上百個晶元，人工檢測效率低。

實用新型內容

本實用新型為了解決現有技術中晶元檢測存在檢測效率低而的問題， 提供了一種能適用于自動檢測設備，極大提高檢測效率的晶元芯片檢測頭 組件。

為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種晶元芯片檢測頭組件，包括線路板、連接套，所述線路板的中間 部位設有定位通孔，所述連接套的一端延伸形成與定位通孔卡接的定位凸 環，所述連接套的外端設有環形橡膠圈I、環形橡膠圈II，所述環形橡膠 圈II的外側設有環形蓋板，所述的環形橡膠圈I與環形橡膠圈II的之間 夾持有若干測針，所有的測針呈兩排分布，每排測針的頭部平齊，每根測 針的頭部均高出環形蓋板的端面，測針的尾部通過導線與線路板連接，所 述的環形蓋板與連接套之間螺栓連接。

線路板與自動化檢測設備連接，晶元芯片安裝在滑動支架上，測針與 晶元芯片表面接觸，滑動支架帶動晶元芯片移動，使得晶元芯片上的每一 格都經過一次測針頭，檢測后直接從自動化檢測設備上讀取檢測結果，極 大的提高了晶元芯片的檢測效率；外界可以從連接通孔處直觀的看到測針 與晶元芯片的接觸狀態。

作為優選，所述的環形橡膠圈I與連接套的外端面固定連接，所述的 環形橡膠圈II與環形蓋板的內側面固定連接，所述環形橡膠圈I的外端 面為外錐面，環形橡膠圈II的內端面為內錐面，所述的測針傾斜夾持在 內錐面與外錐面之間。測針損壞時更換非常方便，通過調節內錐面與外錐 面的角度來控制測針的傾斜角度。

作為優選，所述的測針包括測針套、測針頭，測針頭可在測針套內彈 性伸縮，測針頭的外端彎曲形成檢測端子，所述的檢測端子與待檢測的晶 元芯片垂直。測針傾斜分布，從而保證測針頭與晶元芯片之間是彈性接觸， 檢測端子與晶元芯片垂直，保證兩者之間接觸穩定，測針受力穩定。

作為優選，所述檢測端子的端面為球面。球面能防止檢測端子在晶元 芯片表面移動時產生刮痕。

作為優選，所述定位凸環的外端高出線路板的表面。定位凸環高出線 路板的部位用于和自動化設備連接。

作為優選，所述的線路板與連接套的端面之間通過螺栓連接。

因此，本實用新型具有能適用于自動檢測設備，極大提高檢測效率的 有益效果。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種結構示意圖。

圖2為圖1的側剖圖。

圖3為測針的結構示意圖。

圖中：線路板1、連接套2、螺栓3、測針4、環形蓋板5、導線6、 晶元芯片7、環形橡膠圈I8、環形橡膠圈II9、定位通孔10、定位凸環 20、測針套40、測針頭41、檢測端子42。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步描述：

如圖1和圖2所示的一種晶元芯片檢測頭組件，包括線路板1、連 接套2，線路板的中間部位設有定位通孔10，連接套2的一端延伸形成與 定位通孔卡接的定位凸環20，定位凸環的外端高出線路板的表面，線路 板1與連接套2的端面之間通過螺栓3連接，連接套2的外端設有環形橡 膠圈I8、環形橡膠圈II9，環形橡膠圈II的外側設有環形蓋板5，環形 橡膠圈I8與連接套2的外端面固定連接，環形橡膠圈II9與環形蓋板5 的內側面固定連接，環形橡膠圈I的外端面為外錐面，環形橡膠圈II的 內端面為內錐面，測針4傾斜夾持在內錐面與外錐面之間，測針4呈兩排 分布，每排測針的頭部平齊，每根測針的頭部均高出環形蓋板的端面，測 針4的尾部通過導線6與線路板連接，環形蓋板與連接套之間螺栓連接。

如圖3所示，測針4包括測針套40、測針頭41，測針頭可在測針套 內彈性伸縮，測針頭41的外端彎曲形成檢測端子42，檢測端子42與待 檢測的晶元芯片7垂直，檢測端子42的端面為球面。

結合附圖，本實用新型的使用方法如下：定位凸環高出線路板的部位 與自動化檢測設備固定連接，晶元芯片7安裝在滑動支架上，測針頭上的 檢測端子42與晶元芯片7表面彈性接觸連接，滑動支架帶動晶元芯片移 動，使得晶元芯片上的每一格都經過一次測針頭，檢測后直接從自動化檢 測設備上讀取檢測結果，在檢測過程中，定位通孔內的定位凸環處可以直 觀的看到測針與晶元芯片的接觸狀態。本實用新型具有能適用于自動檢測 設備，極大提高檢測效率的有益效果。