[實用新型]一種RF射頻功率源有效
| 申請號： | 201521034476.3 | 申請日： | 2015-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN205196065U | 公開（公告）日： | 2016-04-27 |
| 發明（設計）人： | 李璐 | 申請（專利權）人： | 沈陽科誠真空技術有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/46 | 分類號： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 110000 遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 rf 射頻 功率 | ||
【權利要求書】：
1.一種RF射頻功率源，其特征在于：包括：機體、單片機、匹配器與射頻源， 所述機體側面設有液晶顯示屏，所述液晶顯示屏旁設有參數設定按鈕，所述單 片機通過匹配器與射頻源連接設于機體內部，所述射頻源包括：有源石英晶體 穩頻、它激機與金屬陶瓷四極管，所述金屬陶瓷四極管為末級，所述有源石英 晶體穩頻、它激機均由單片機控制。
2.根據權利要求1所述的一種RF射頻功率源，其特征在于：所述匹配器與射頻 源功效溶為一體。
3.根據權利要求1所述的一種RF射頻功率源，其特征在于：輸出功率大于 500W，且由0-500W可連續調節。
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