[實用新型]一種RF射頻功率源

有效

• 申請號: 201521034476.3
• 申請日: 2015-12-15
• 公開（公告）號: CN205196065U
• 公開（公告）日: 2016-04-27
• 發明（設計）人: 李璐
• 申請（專利權）人: 沈陽科誠真空技術有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種RF射頻功率源，廣泛地應用于科研、半導體工藝、真空鍍膜、工業材料加工設備。

背景技術

射頻功率源又稱射頻電源，是可以產生固定頻率(13.56MHz，27.12MHz等頻點)的正弦波、具有一定功率的電源。已廣泛應用于半導體工藝設備；LED與太陽能光伏產業；科學實驗中的等離子體發生器；射頻感應加熱；醫療美容；常壓等離子體消毒清洗等。

目前，已有的射頻功率源，其射頻放大器采用功率模塊和大功率場效應管放大器，體積大、功率低。

實用新型內容

本實用新型主要的目的是針對現有技術的缺陷，提出了一種RF射頻功率源，采用單片機技術，實現了多項智能控制，提高了效率，縮小了體積。

一種RF射頻功率源包括：機體、單片機、匹配器與射頻源，所述機體側面設有液晶顯示屏，所述液晶顯示屏旁設有參數設定按鈕，所述單片機通過匹配器與射頻源連接設于機體內部，所述射頻源包括：有源石英晶體穩頻、它激機與金屬陶瓷四極管，所述金屬陶瓷四極管為末級，所述有源石英晶體穩頻、它激機均由單片機控制。

其中，所述匹配器與射頻源功效溶為一體。

其中，輸出功率大于500W，且由0-500W可連續調節。

本實用新型的有益效果是：本實用新型提出一種RF射頻功率源，效率高，工作穩定可靠，匹配器與射頻源功效溶為一體，提高了效率，縮小了體積，增加了美感。采用液晶顯示屏與單片機應用控制，使本機提高了檔次，是目前國內電子管射頻源最先進的機型。

為了能更進一步了解本實用新型的特征以及技術內容，請參閱以下有關本實用新型的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本實用新型加以限制。

附圖說明

下面結合附圖，通過對本實用新型的具體實施方式詳細描述，將使本實用新型的技術方案及其它有益效果顯而易見。

圖1，是本實用新型一種RF射頻功率源的結構示意圖；

具體實施方式

為更進一步闡述本實用新型所采取的技術手段及其效果，以下結合本實用新型的優選實施例及其附圖進行詳細描述。

請參閱圖1，一種RF射頻功率源包括：機體1、單片機、匹配器與射頻源，所述機體1側面設有液晶顯示屏3，所述液晶顯示屏3旁設有參數設定按鈕2，所述單片機通過匹配器與射頻源連接設于機體內部，所述射頻源包括：有源石英晶體穩頻、它激機與金屬陶瓷四極管，所述金屬陶瓷四極管為末級，所述有源石英晶體穩頻、它激機均由單片機控制。

進一步，所述匹配器與射頻源功效溶為一體。

進一步，輸出功率大于500W，且由0-500W可連續調節。

本實用新型在大功率長時間工作，主變壓器濕度超過70℃時會報警，文字提示，并停止功率輸出。當風機出現故障時會峰嗚器報警并文字提示。開機4分鐘后本機在自檢中，如有負載未接或接觸不良會有文字提示。當Ua調節輸出功率到你所設定功率時，兩秒后峰嗚聲鎖定所設功率并恒功率輸出。本實用新型可連續工作時間24小時。

以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應所述以權利要求的保護范圍為準。