[實用新型]干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201521025166.5 | 申請日： | 2015-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN205209433U | 公開（公告）日： | 2016-05-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王俊;包凱凱;程宏;王勤 | 申請（專利權(quán)）人： | 杭州志達光電有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00;G01B11/27;G01B11/26;G01C9/00 |
| 代理公司： | 杭州浙科專利事務(wù)所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吳秉中 |
| 地址： | 311121 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 涉及 投影 一體化 球面 偏心 檢測 | ||
1.干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀，其特征在于包括激光光學(xué)系統(tǒng)A（1）和激光光學(xué)系統(tǒng)B（9），所述的激光光學(xué)系統(tǒng)A（1）底部固定設(shè)置多維位移平臺A（2），所述的多維位移平臺A（2）下方配合設(shè)置多維位移平臺B（7），所述的多維位移平臺B（7）下方配合設(shè)置激光光學(xué)系統(tǒng)B（9），所述的多維位移平臺B（7）上固定設(shè)置鏡片夾具（6）。
2.如權(quán)利要求1所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀，其特征在于所述的激光光學(xué)系統(tǒng)B（9）設(shè)置在底座（10）上，所述的底座（10）上固定設(shè)置支架B（8），所述的支架B（8）上設(shè)置多維位移平臺B（7）和支架A（3），所述的支架A（3）上設(shè)置多維位移平臺A（2）。
3.如權(quán)利要求2所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀，其特征在于所述的支架A（3）包括立柱A（301）和固定板A（302），所述的固定板A（302）上設(shè)有供光路通過的通孔A（303），所述的支架B（8）包括立柱B（801）和固定板B（802），所述的固定板B（802）上設(shè)有供光路通過的通孔B（803）。
4.如權(quán)利要求3所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀，其特征在于所述的多維位移平臺A（2）設(shè)置在固定板A（302）上，所述的多維位移平臺B（7）設(shè)置在固定板B（802）上。
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