[實(shí)用新型]干涉及投影一體化非球面偏心檢測(cè)儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201521025166.5
• 申請(qǐng)日: 2015-12-11
• 公開（公告）號(hào): CN205209433U
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王俊;包凱凱;程宏;王勤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州志達(dá)光電有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/00
• 分類號(hào): G01B11/00;G01B11/27;G01B11/26;G01C9/00
• 代理公司: 杭州浙科專利事務(wù)所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及干涉及投影一體化非球面偏心檢測(cè)儀。

背景技術(shù)

目前市場(chǎng)上，針對(duì)非球面鏡片加工精度的偏心檢測(cè)技術(shù)，大部分還只停留在接觸式上，有少部分非接觸式的光學(xué)測(cè)量方法，又都只能檢測(cè)面型問題，無法檢測(cè)鏡片的加工以及組裝偏心、傾斜問題，給鏡頭的成像質(zhì)量帶來了隱患。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實(shí)用新型的目的在于設(shè)計(jì)提供干涉及投影一體化非球面偏心檢測(cè)儀的技術(shù)方案。

所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測(cè)儀，其特征在于包括激光光學(xué)系統(tǒng)A和激光光學(xué)系統(tǒng)B，所述的激光光學(xué)系統(tǒng)A底部固定設(shè)置多維位移平臺(tái)A，所述的多維位移平臺(tái)A下方配合設(shè)置多維位移平臺(tái)B，所述的多維位移平臺(tái)B下方配合設(shè)置激光光學(xué)系統(tǒng)B，所述的多維位移平臺(tái)B上固定設(shè)置鏡片夾具。

所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測(cè)儀，其特征在于所述的激光光學(xué)系統(tǒng)B設(shè)置在底座上，所述的底座上固定設(shè)置支架B，所述的支架B上設(shè)置多維位移平臺(tái)B和支架A，所述的支架A上設(shè)置多維位移平臺(tái)A。

所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測(cè)儀，其特征在于所述的支架A包括立柱A和固定板A，所述的固定板A上設(shè)有供光路通過的通孔A，所述的支架B包括立柱B和固定板B，所述的固定板B上設(shè)有供光路通過的通孔B。

所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測(cè)儀，其特征在于所述的多維位移平臺(tái)A設(shè)置在固定板A上，所述的多維位移平臺(tái)B設(shè)置在固定板B上。

本實(shí)用新型能夠在同一臺(tái)設(shè)備上，檢測(cè)多種類型鏡片的偏心和傾斜問題，不但提高了鏡片的檢測(cè)精度，還大大加快了鏡片的檢測(cè)速度，不但提升了企業(yè)的產(chǎn)品品質(zhì)，同時(shí)也能提高企業(yè)的生產(chǎn)經(jīng)濟(jì)效益。

附圖說明

圖1，2為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)圖；

圖3為本實(shí)用新型中被測(cè)非球面鏡片實(shí)例圖；

圖4為本實(shí)用新型中反射偏心環(huán)形圖；

圖5為本實(shí)用新型中干涉傾斜測(cè)量圖；

圖6為本實(shí)用新型中非球面鏡片的外形輪廓圖。

圖中：1-激光光學(xué)系統(tǒng)A；2-多維位移平臺(tái)A；3-支架A；4-激光束A；5-非球面鏡片；6-鏡片夾具；7-多維位移平臺(tái)B；8-支架B；9-激光光學(xué)系統(tǒng)B；10-底座板；11-激光束B；12-上表面球心環(huán)；13-平面環(huán)；14-外圓輪廓；15-下表面球心環(huán)；16-上/下表面球心環(huán)像；301-立柱A；302-固定板A；303-通孔A；801-立柱B；802-固定板B；803-通孔B。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合說明書附圖來進(jìn)一步說明本實(shí)用新型。

如圖1和2所示，干涉及投影一體化非球面偏心檢測(cè)儀包括激光光學(xué)系統(tǒng)A1和激光光學(xué)系統(tǒng)B9，激光光學(xué)系統(tǒng)A1底部固定設(shè)置多維位移平臺(tái)A2，多維位移平臺(tái)A2下方配合設(shè)置多維位移平臺(tái)B7，多維位移平臺(tái)B7下方配合設(shè)置激光光學(xué)系統(tǒng)B9，多維位移平臺(tái)B7上固定設(shè)置鏡片夾具6，鏡片夾具6夾持非球面鏡片5。激光光學(xué)系統(tǒng)A1和激光光學(xué)系統(tǒng)B9為現(xiàn)有系統(tǒng)，發(fā)射波長(zhǎng)632.8nm紅色波段激光。多維位移平臺(tái)A2和多維位移平臺(tái)B7為現(xiàn)有平臺(tái)，能夠進(jìn)行上下左右以及傾斜移動(dòng)。具體是：激光光學(xué)系統(tǒng)B9設(shè)置在底座10上，底座10上固定設(shè)置支架B8，支架B8上設(shè)置多維位移平臺(tái)B7和支架A3，支架A3上設(shè)置多維位移平臺(tái)A2。其中，支架A3包括立柱A301和固定板A302，固定板A302上設(shè)有供光路通過的通孔A303。支架B8包括立柱B801和固定板B802，固定板B802上設(shè)有供光路通過的通孔B803。多維位移平臺(tái)A2設(shè)置在固定板A302上，多維位移平臺(tái)B7設(shè)置在固定板B802上。

利用上述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測(cè)儀進(jìn)行非球面偏心檢測(cè)的方法，其特征在于包括以下步驟：

1）檢測(cè)非球面鏡片5（圖3為非球面鏡片5的實(shí)例圖）上下兩個(gè)表面的相對(duì)水平位移偏心時(shí)，將激光光學(xué)系統(tǒng)A1和激光光學(xué)系統(tǒng)B9同時(shí)打開，激光光學(xué)系統(tǒng)A1發(fā)射出來的激光束A4和激光光學(xué)系統(tǒng)B9發(fā)射出來的激光束B11分別照射在被測(cè)非球面鏡片5的上下兩個(gè)表面上，并且在上表面球心環(huán)12和下表面球心環(huán)15上形成反射光路，分別得到如圖4所示的上/下表面球心環(huán)像16，通過分析確定出上下兩個(gè)面形成的上/下表面球心環(huán)像16的中心點(diǎn)相對(duì)位置的數(shù)值，即得出非球面上下兩個(gè)表面的相對(duì)水平位移偏心數(shù)值；