[實用新型]一種晶片厚度測量裝置

有效

• 申請號: 201521021972.5
• 申請日: 2015-12-10
• 公開（公告）號: CN205209439U
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發明（設計）人: 許春杰;謝保衛
• 申請（專利權）人: 江蘇潤麗光能科技發展有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 蘇州市方略專利代理事務所(普通合伙) 32267
• 代理人: 馬廣旭

技術領域

本實用新型涉及一種測量裝置，具體涉及一種晶片厚度測量裝置。

背景技術

尺寸測量儀器具有一探頭，所述探頭沿著測量軸線移動。彈性傳輸元件使探頭能在測量力的作用下移動；探頭可以與儀器剛性連接，例如以便實施外形測量或描繪。儀器整個地用一外殼保護免受液體射入和粉塵的影響，并且探頭可以在不打開外殼或者不進入外殼內部的情況下鎖緊。超聲波測厚儀是采用最新的高性能、低功耗微處理器技術，基于超聲波測量原理，可以測量金屬及其它多種材料的厚度，并可以對材料的聲速進行測量。現有的晶片厚度不方便檢測，檢測效率低。

實用新型內容

本實用新型的目的在于針對現有技術的缺陷和不足，提供一種可以將待檢測的晶片放置在傳動帶上，驅動電機可以控制驅動輪、傳動帶以及主動輪實現轉動，從而方便對晶片進行傳動；紅外線監測器可以通過滑管沿著導向桿實現滑動，通過紅外線監測器方便對晶片的厚度進行檢測，通過厚度測定儀方便測量出晶片的厚度的晶片厚度測量裝置。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：

一種晶片厚度測量裝置，包括機架，機架設有主動輪，主動輪的軸向位置設有第一對接軸，第一對接軸設置在機架上，機架設有從動輪，從動輪的軸向位置設有第二對接軸，第二對接軸設置在機架上；主動輪與從動輪對接，主動輪與從動輪通過傳動帶連接；機架的內底部設有支撐柱，支撐柱上設有驅動電機，驅動電機設有驅動輪，驅動輪通過驅動軸與驅動電機連接；驅動輪與主動輪連接；機架上設有支撐管道，支撐管道呈豎直布置，支撐管道上設有厚度測定儀，機架上設有導向桿，導向桿套裝有第一滑管，第一滑管設有第一紅外線監測器，第一紅外線監測器與厚度測定儀連接，第一紅外線監測器與厚度測定儀通過第一對接線連接，導向桿套裝有第二滑管，第二滑管設有第二紅外線監測器，第二紅外線監測器與厚度測定儀連接，第二紅外線監測器與厚度測定儀通過第二對接線連接。

進一步的，所述機架上設有支撐桿，支撐桿與導向桿連接。

進一步的，所述導向桿的外端設有限位球。

進一步的，所述限位球為球形形狀。

進一步的，所述驅動輪的外表面設有外螺紋，主動輪的外表面設有外螺紋，驅動輪與主動輪通過螺紋連接。

采用上述結構后，本實用新型有益效果為：可以將待檢測的晶片放置在傳動帶上，驅動電機可以控制驅動輪、傳動帶以及主動輪實現轉動，從而方便對晶片進行傳動；第一紅外線監測器可以通過第一滑管沿著導向桿實現滑動，第二紅外線監測器可以通過第二滑管沿著導向桿實現滑動，通過第一紅外線監測器與第二紅外線監測器方便對晶片的厚度進行檢測，通過厚度測定儀方便測量出晶片的厚度。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

附圖標記說明：

機架11、主動輪12、第一對接軸13、從動輪14、第二對接軸15、傳動帶16、支撐柱17、驅動電機18、驅動輪19、驅動軸20、支撐桿21、導向桿22、限位球23、支撐管道24、厚度測定儀25、第一滑管26、第一紅外線監測器27、第一對接線28、第二滑管29、第二紅外線監測器30、第二對接線31。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步的說明。