[實用新型]一種自動硅片勻膠機

有效

• 申請號: 201520997529.5
• 申請日: 2015-12-07
• 公開（公告）號: CN205258662U
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發明（設計）人: 靳立輝;張學強;崔振強;白聰軒;高樹良;李宇佳
• 申請（專利權）人: 天津中環半導體股份有限公司
• 主分類號: C30B33/00
• 分類號: C30B33/00
• 代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 胡京生

技術領域

本實用新型涉及一種硅片涂膠設備，特別涉及一種自動硅片勻膠機。

背景技術

硅片的涂膠處理，是將硅片的表面涂上一層薄厚均勻的膠,目前,工藝流程是手動 放置片籃到上料待料位、硅片搬運至上料位置、移片機構取硅片、涂膠機構涂膠、烘干機構 烘干、硅片搬運至下料位片籃中，片籃裝滿后手動下料，費工費時，效率低、勞動強度大。

發明內容

鑒于現有技術存在的問題，本實用新型提供一種自動硅片涂膠機整機，主要功能 是將硅片自動上料、涂膠、烘干并自動下料到片籃內，具體技術方案是，一種自動硅片勻膠 機，包括機柜、上料機構、涂膠機構、烘干機構、移片機構、下料機構和片籃、其特征在于：上 料機構、下料機構分別固定于機柜的工作臺長向兩端并同一條中心線上，在工作臺的同一 條中心線上并上料機構和下料機構間，依次固定涂膠機構、烘干機構，移片機構固定工作臺 的下面，移片機構的載片位于涂膠機構、烘干機構的上方，所述的上料機構，包括托舉氣缸、 運送帶、升降架、上料座、絲杠螺母、滑塊，托舉氣缸固定在機柜工作臺上，運送帶通過墊塊 固定在機柜工作臺上，上料座通過側板與固定，升降架固定在滑塊上，滑塊連接在導軌上， 導軌固定在上料座內，絲杠螺母中的絲杠固定在上料座內、螺母固定在升降架內；所述的涂 膠機構，包括膠管、點膠機、真空吸盤、調速電機、升降氣缸、主軸套管、升降板、導軌和滑塊， 導軌固定在自動硅片勻膠機下側機板上，升降氣缸通過滑塊固定于導軌上并頂住升降板控 制升降板上下運動，升降板通過主軸套管與真空吸盤連接，控制真空吸盤的上下運動，調速 電機與真空吸盤主軸相連，控制真空吸盤的轉速，真空吸盤置于自動硅片勻膠機的工作臺 的點膠工位上，膠管固定于點膠機上，點膠機固定于自動硅片勻膠機的工作臺上，使膠管正 對準真空吸盤中心點；所述的烘干機構，由筋板、支撐螺釘、支撐架、烘干托盤、加熱棒、鋼絲 支架、隔熱托盤、升降塊、氣缸組成，筋板固定在機柜工作臺下端面，隔熱托盤固定在機柜工 作臺上，烘干托盤通過支撐螺釘支撐在隔熱托盤上，支撐架固定在隔熱托盤下方，氣缸固定 在支撐架下方，升降塊通過浮動接頭連接在氣缸桿上來完成上下運動，鋼絲支架固定在升 降塊上，加熱棒放在烘干托盤的圓孔內；所述的下料機構的機械結構與上料機構相同，運動 方向與上料機構(2)運動方向相反；所述的移片機構，包括三位置氣缸、直線軸承、光軸、載 板、聯動塊，其中，硅片置于載板上，三位置氣缸固定在機柜工作臺下方，聯動塊穿在機柜工 作臺中，聯動塊的下端與氣缸活塞桿連接，上端與載板連接，使載板位于機柜工作臺上的涂 膠機構、烘干機構上方，直線軸承固定在機柜工作臺上，光軸穿入直線軸承且光軸兩端分別 固定在兩個導軌固定塊上，導軌固定塊固定在載板上，使聯動塊帶動載板做直線往返運動。

本實用新型的技術效果是實現了自動上下料、涂膠、烘干等工藝流程，自動化高、 精度高，涂膠均勻，厚度可控，減少了員工的勞動量，同時也避免了對硅片的表面劃傷。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構立體圖。

圖2是本實用新型的俯視圖。

圖3是本實用新型的上料機構結構示意圖。

圖4是本實用新型的涂膠機構結構示意圖。

圖5是本實用新型的烘干機構結構示意圖。

圖6是本實用新型的移片機構結構示意圖。

具體實施方式

如圖1、2所示，包括機柜1、上料機構2、涂膠機構3、烘干機構4、移片機構5、下料機 構6、片籃7和電氣控系統，其特征在于：上料機構2、下料機構6分別固定于機柜1的工作臺長 向兩端并同一條中心線上，在工作臺的同一條中心線上并上料機構2和下料機構6間，依次 固定涂膠機構3、烘干機構4，移片機構5固定工作臺的下面，移片機構5的載片28位于涂膠機 構3、烘干機構4的上方，主要功能是將硅片自動上料、涂膠、烘干并自動下料到片籃內。片籃 放置于上、下料機構中的自動升降機構上，可通過導軌絲杠傳動實現升降，從而使片籃中的 插槽依次下降或上升。移片機構將硅片搬運至各個工位，涂膠機構將硅片的表面進行涂膠， 烘干機構將硅片表面的膠進行烘干。