[實用新型]一種自動硅片勻膠機

有效

• 申請號: 201520997529.5
• 申請日: 2015-12-07
• 公開（公告）號: CN205258662U
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發明（設計）人: 靳立輝;張學強;崔振強;白聰軒;高樹良;李宇佳
• 申請（專利權）人: 天津中環半導體股份有限公司
• 主分類號: C30B33/00
• 分類號: C30B33/00
• 代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 胡京生

1.一種自動硅片勻膠機，包括機柜(1)、上料機構(2)、涂膠機構(3)、烘干機構(4)、移 片機構(5)、下料機構(6)和片籃（7），其特征在于：上料機構(2)、下料機構(6)分別固定于機 柜(1)的工作臺長向兩端并同一條中心線上，在工作臺的同一條中心線上并上料機構(2)和 下料機構(6)間，依次固定涂膠機構(3)、烘干機構(4)，移片機構(5)固定工作臺的下面，移 片機構(5)的載片（28）位于涂膠機構(3)、烘干機構(4)的上方，所述的上料機構(2)，包括托 舉氣缸（20）、運送帶（21）、升降架（22）、上料座（23）、絲杠螺母（24）、滑塊（25），托舉氣缸 （20）固定在機柜(1)工作臺上，運送帶（21）通過墊塊固定在機柜(1)工作臺上，上料座 （23）通過側板（26）與固定，升降架（22）固定在滑塊（25）上，滑塊（25）連接在導軌上，導軌固 定在上料座（23）內，絲杠螺母（24）中的絲杠固定在上料座（23）內、螺母固定在升降架（22） 內；所述的涂膠機構(3)，包括膠管（1）、點膠機（2）、真空吸盤(3)、調速電機（4）、升降氣缸 （5）、主軸套管（6）、升降板（7）、導軌（8）和滑塊（9），導軌（8）固定在自動硅片勻膠機下側機 板上，升降氣缸（5）通過滑塊（9）固定于導軌（8）上并頂住升降板（7）控制升降板（7）上下運 動，升降板（7）通過主軸套管（6）與真空吸盤(3)連接，控制真空吸盤(3)的上下運動，調速 電機（4）與真空吸盤(3)主軸相連，控制真空吸盤(3)的轉速，真空吸盤(3)置于自動硅片勻 膠機的工作臺的點膠工位上，膠管（1）固定于點膠機（2）上，點膠機（2）固定于自動硅片勻膠 機的工作臺上，使膠管（1）正對準真空吸盤（3）中心點；所述的烘干機構(4)，由筋板（10）、支 撐螺釘（12）、支撐架（13）、烘干托盤（14）、加熱棒（15）、鋼絲支架（16）、隔熱托盤（17）、升降 塊（18）、氣缸（19）組成，筋板（10）固定在機柜(1)工作臺下端面，隔熱托盤（17）固定在機柜 (1)工作臺上，烘干托盤（14）通過支撐螺釘（12）支撐在隔熱托盤（17）上，支撐架（13）固定 在隔熱托盤（14）下方，氣缸（19）固定在支撐架（13）下方，升降塊（18）通過浮動接頭連接在 氣缸（19）桿上來完成上下運動，鋼絲支架（16）固定在升降塊（18）上，加熱棒（15）放在烘干 托盤的圓孔內；所述的下料機構(6)的機械結構與上料機構(2)相同，運動方向與上料機構 (2)運動方向相反；所述的移片機構(5)，包括三位置氣缸（25）、直線軸承（26）、光軸（27）、 載板（28）、聯動塊（29），其中，硅片置于載板（28）上，三位置氣缸（25）固定在機柜(1)工作 臺下方，聯動塊（29）穿在機柜(1)工作臺中，聯動塊（29）的下端與氣缸活塞桿連接，上端與 載板（28）連接，使載板（28）位于機柜(1)工作臺上的涂膠機構(3)、烘干機構(4)上方，直線 軸承（26）固定在機柜(1)工作臺上，光軸（27）穿入直線軸承（26）且光軸兩端分別固定在兩 個導軌固定塊上，導軌固定塊固定在載板（28）上，使聯動塊（29）帶動載板（28）做直線往返 運動。