[實用新型]一種石墨舟有效
| 申請號: | 201520986158.0 | 申請日: | 2015-12-03 |
| 公開(公告)號: | CN205177803U | 公開(公告)日: | 2016-04-20 |
| 發明(設計)人: | 陸義;張忠文;張玉前;徐文俊;董朋;俞玉松 | 申請(專利權)人: | 通威太陽能(合肥)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 合肥天明專利事務所 34115 | 代理人: | 奚華保 |
| 地址: | 230088 安徽*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石墨 | ||
1.一種石墨舟,包括多個交錯分布的石墨舟片,多個交錯分布的石墨舟片通過多個石墨桿串接后且每個石墨桿的兩端通過石墨螺母緊固,串接在石墨舟片頂端的石墨桿上且位于石墨舟片間套裝有上部陶瓷管,串接在石墨舟片底端的石墨桿上且位于石墨舟片間套裝有下部陶瓷管,串接在石墨舟片兩端部的石墨桿上且位于石墨舟片間套裝有導電塊,其特征在于:所述的上部陶瓷管的長度為10.7—10.9mm,所述的下部陶瓷管的長度為10.9—11.1mm。
2.根據權利要求1所述的一種石墨舟,其特征在于:所述的上部陶瓷管的長度為10.8mm,所述的下部陶瓷管的長度為11.0mm。
3.根據權利要求1所述的石墨舟,其特征在于:所述的上部陶瓷管和下部陶瓷管的壁厚均為3.5-3.9mm。
4.根據權利要求3所述的石墨舟,其特征在于:所述的上部陶瓷管和下部陶瓷管的壁厚均為3.7mm。
5.根據權利要求1所述的石墨舟,其特征在于:所述導電塊包括有兩排平行設置的導電塊組,兩排導電塊組分別包括有上部導電塊和下部導電塊,其中,上部導電塊與石墨舟片貼合的兩側面為斜面,斜面與豎直面的夾角為1-2°。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





