[實用新型]一種真空鍍膜設備的真空室電源穿透密封件有效
| 申請號： | 201520972551.4 | 申請日： | 2015-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN205188434U | 公開（公告）日： | 2016-04-27 |
| 發明（設計）人： | 王紅濤 | 申請（專利權）人： | 深圳市納爾遜科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 真空鍍膜 設備 真空 電源 穿透 密封件 | ||
【權利要求書】：
1.一種真空鍍膜設備的真空室電源穿透密封件，包括絕緣蓋、絕緣座、安裝座、電極，其特征在于，所述的絕緣蓋設在絕緣座上方，絕緣座設在安裝座上方；所述的絕緣蓋、絕緣座和安裝座分別設有螺栓孔，所述的電極穿過絕緣蓋、絕緣座和安裝座，安裝座上設有第一密封圈，絕緣座上設有第二密封圈。
2.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜設備的真空室電源穿透密封件，其特征在于：所述的螺栓孔均勻設有四個。
3.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜設備的真空室電源穿透密封件，其特征在于：所述的電極設有四個。
4.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜設備的真空室電源穿透密封件，其特征在于：所述的第一密封圈為O型密封圈，所述的第二密封圈為O型密封圈。
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