[實用新型]一種多晶硅生產用石英坩堝噴涂臺有效
| 申請號: | 201520950964.2 | 申請日: | 2015-11-25 |
| 公開(公告)號: | CN205128266U | 公開(公告)日: | 2016-04-06 |
| 發明(設計)人: | 王勇 | 申請(專利權)人: | 浙江恒都光電科技有限公司 |
| 主分類號: | B05B13/02 | 分類號: | B05B13/02;B05B15/00 |
| 代理公司: | 嘉興海創專利代理事務所(普通合伙) 33251 | 代理人: | 鄭文濤 |
| 地址: | 314416 浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多晶 生產 石英 坩堝 噴涂 | ||
技術領域
本實用新型屬于石英坩堝制造技術領域,具體涉及一種多晶硅生產用石英坩堝噴涂臺。
背景技術
多晶硅晶體是在多晶鑄錠爐中進行燒制后形成的,具體是將多晶硅原料裝在內表面涂有氮化硅粉脫模劑的石英坩堝內,然后將石英坩堝置于多晶硅錠爐內,通過加熱、熔化、長晶、退火和冷卻等一系列過程得到符合要求的多晶硅錠。石英坩堝在噴涂氮化硅涂料時需要在噴涂臺上操作,并且噴涂時周圍會產生大量粉塵,當前噴涂工人在工作時多通過穿戴工作服和口罩來避免皮膚與粉塵接觸,防護效果較差;另外,現有石英坩堝噴涂臺中照明燈具大都通過另外設置燈架安裝,結構復雜,造價較高。
實用新型內容
對此,本實用新型所要解決的技術問題是現有技術中石英坩堝噴涂車間內工作環境差,和照明燈具安裝時需要設置燈架導致造價高的問題,從而提供一種能有效改善工作環境,并能有效降低造價的石英坩堝噴涂臺。
實現本實用新型目的的技術方案是:
一種多晶硅生產用石英坩堝噴涂臺,包括設于可旋轉底座上的噴涂平臺,以及拌料裝置,它還包括吸塵裝置,所述吸塵裝置包括吸塵通道和設于所述吸塵通道上的風機,所述吸塵通道的內端口為喇叭口,所述喇叭口邊緣固定有照明燈具。
上述技術方案中,所述照明燈具背部設有安裝架,所述安裝架上設有適于與所述喇叭口外壁相貼合的安裝片,所述安裝片上設有適于固定安裝的固定孔,所述喇叭口的外壁上設有適于與所述固定孔卡接的固定凸臺及適于在所述固定孔與所述固定凸臺形成配合時壓緊所述安裝架的壓緊彈片。
上述技術方案中,所述壓緊彈片上具有圓弧形壓接部。
上述技術方案中,所述吸塵通道的出風口處設有過濾網,所述過濾網的下方設有粉塵收集裝置。
上述技術方案中,所述吸塵通道的出風口處設有插槽,所述粉塵收集裝置邊緣處設有適于與所述插槽插接配合的插片。
本實用新型具有積極的效果:
(1)本實施例中通過設置吸塵裝置,并將吸塵通道的內端口設計成喇叭口狀,這樣一來,能夠及時有效的將噴涂作業時產生的粉塵及時排出噴涂車間,從而改善了噴涂車間的工作環境,有益于工作人員的身體健康,進一步在喇叭口處設置照明燈具,可使操作人員更容易看清噴涂效果,將照明燈具設置在喇叭口邊緣上,就無需另外設置燈架安裝照明燈具,從而能夠降低造價。
(2)本實用新型中照明燈具在安裝時,通過固定凸臺與固定孔配合并通過壓緊彈片壓緊安裝片,安裝操作便捷且牢靠,具有很好的使用效果。
(3)本實用新型中,通過設置過濾網及粉塵收集裝置,能夠防止粉塵流出造成粉塵污染,進一步在所述吸塵通道的出風口處設置插槽,所述粉塵收集裝置邊緣處設置適于與所述插槽插接配合的插片,在安裝粉塵收集裝置時只需將其上插片與所述吸塵通道出風口處的插槽插接即可,拆卸時同樣非常便捷。
附圖說明
圖1為本實用新型多晶硅生產用石英坩堝噴涂臺的結構示意圖。
圖2為本實用新型多晶硅生產用石英坩堝噴涂臺照明燈具安裝時的局部視圖;
圖3為本實用新型多晶硅生產用石英坩堝噴涂臺中拌料裝置的結構示意。
圖中所示附圖標記為:1、噴涂平臺,2、吸塵裝置,3、喇叭口,4、吸塵通道,5、風機,6、粉塵收集裝置,7、照明燈具,8、安裝片,9、固定孔,10、固定凸臺,11、壓緊彈片,12、固定桿,13、活動塊,14、第一鎖緊裝置,15、安裝桿,16、第二鎖緊裝置,17、攪拌機構,18、過濾網,19、圓弧形壓接部,20、插槽,21、安裝架。
具體實施方式
下面結合說明書附圖對本實用新型中石英坩堝噴涂臺的具體結構做以說明:
實施例1
一種多晶硅生產用石英坩堝噴涂臺,如圖1和圖2所示,其包括設于可旋轉底座上的噴涂平臺1,以及拌料裝置,除此之外,它還包括吸塵裝置2,所述吸塵裝置2包括吸塵通道4和設于所述吸塵通道4上的風機5,所述吸塵通道4的內端口為喇叭口,位于所述噴涂平臺1的正上方,且所述喇叭口的口徑大于所述噴涂平臺1的外徑。本實施例中通過設置吸塵裝置,并將吸塵通道4的內端口設計成喇叭口狀,位于所述噴涂平臺1的正上方,且所述喇叭口的口徑大于所述噴涂平臺1的外徑,這樣一來,能夠及時有效的將噴涂作業時產生的粉塵及時排出噴涂車間,從而改善了噴涂車間的工作環境,有益于工作人員的身體健康。
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