[實用新型]一種多晶硅生產(chǎn)用石英坩堝噴涂臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520950964.2 | 申請日： | 2015-11-25 |
| 公開（公告）號： | CN205128266U | 公開（公告）日： | 2016-04-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江恒都光電科技有限公司 |
| 主分類號： | B05B13/02 | 分類號： | B05B13/02;B05B15/00 |
| 代理公司： | 嘉興海創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33251 | 代理人： | 鄭文濤 |
| 地址： | 314416 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 多晶 生產(chǎn) 石英 坩堝 噴涂 | ||
1.一種多晶硅生產(chǎn)用石英坩堝噴涂臺，包括設(shè)于可旋轉(zhuǎn)底座上的 噴涂平臺(1)，以及拌料裝置，其特征在于，還包括吸塵裝置(2)， 所述吸塵裝置(2)包括吸塵通道(4)和設(shè)于所述吸塵通道(4)上 的風(fēng)機(5)，所述吸塵通道(4)的內(nèi)端口為喇叭口(3)，所述喇叭 口(3)邊緣固定有照明燈具(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)用石英坩堝噴涂臺，其特 征在于，所述照明燈具(7)背部設(shè)有安裝架(21)，所述安裝架(21) 上設(shè)有適于與所述喇叭口(3)外壁相貼合的安裝片(8)，所述安裝 片(8)上設(shè)有適于固定安裝的固定孔(9)，所述喇叭口(3)的外壁 上設(shè)有適于與所述固定孔(9)卡接的固定凸臺(10)及適于在所述 固定孔(9)與所述固定凸臺(10)形成配合時壓緊所述安裝架的壓 緊彈片(11)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅生產(chǎn)用石英坩堝噴涂臺，其特 征在于，所述壓緊彈片(11)上具有圓弧形壓接部(19)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)用石英坩堝噴涂臺，其特 征在于，所述吸塵通道(4)的出風(fēng)口處設(shè)有過濾網(wǎng)(18)，所述過濾 網(wǎng)(18)的下方設(shè)有粉塵收集裝置(6)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅生產(chǎn)用石英坩堝噴涂臺，其特 征在于，所述吸塵通道(4)的出風(fēng)口處設(shè)有插槽(20)，所述粉塵收 集裝置(6)邊緣處設(shè)有適于與所述插槽(20)插接配合的插片。
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