[實用新型]一種新型的四氯化硅汽化裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520945475.8 | 申請日： | 2015-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN205187884U | 公開（公告）日： | 2016-04-27 |
| 發(fā)明（設計）人： | 周駿 | 申請（專利權）人： | 杭州富通翔駿新材料有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 新型 氯化 汽化 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種新型的四氯化硅汽化裝置，包括由底座和壁筒一體連接而成的密封筒柱，其特征在于，四氯化硅進氣管從底座中心延伸進入密封筒柱內，四氯化硅出氣管嵌套在該四氯化硅進氣管的外壁；且四氯化硅進氣管的端口靠近于密封筒柱的頂部，四氯化硅出氣管的端口靠近于密封筒柱的底座；底座上設置有若干個平行排列的U型加熱電棒，每個U型加熱電棒通過電極與加熱電源相連接；密封筒柱的頂部上設置有保險開關，且該保險開關位于四氯化硅進氣管的端口的正上方；壁筒的底端上還設有排污管。
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