[實(shí)用新型]一種新型的四氯化硅汽化裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520945475.8
• 申請(qǐng)日: 2015-11-24
• 公開（公告）號(hào): CN205187884U
• 公開（公告）日: 2016-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周駿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州富通翔駿新材料有限公司
• 主分類號(hào): C01B33/107
• 分類號(hào): C01B33/107
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• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種新型的四氯化硅汽化裝置。

背景技術(shù)

近幾年來(lái)，隨著太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，多晶硅作為太陽(yáng)能電池板或組件的原材料常量也大幅增加，與此同時(shí)，多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中的副產(chǎn)物四氯化硅也大幅增多，這對(duì)環(huán)境產(chǎn)生了巨大的壓力，也為多晶硅生產(chǎn)的原料三氯氫硅的循環(huán)生成帶來(lái)了困擾，而要實(shí)現(xiàn)四氯化硅到三氯氫硅的轉(zhuǎn)化，首先就是要實(shí)現(xiàn)四氯化硅的汽化。因此，為了能夠?qū)崿F(xiàn)上述目的，四氯化硅必須先經(jīng)過(guò)汽化處理。

通常，四氯化硅的汽化在大約200℃下汽化，傳統(tǒng)的臥式汽化器采用電加熱方式進(jìn)行汽化，雖然可以達(dá)到汽化目的，但也存在著汽化溫度不易控制，從而導(dǎo)致其他雜質(zhì)被汽化的發(fā)生，以及電解熱棒與四氯化硅接觸面積較小，溫度不均勻，造成四氯化硅液體的湍流，也容易使液體中的重質(zhì)雜質(zhì)從汽化器底部浮起，影響四氯化硅液體穩(wěn)定性和汽化效率。

另一種立式的連通形式的汽化器雖然可以較為有效的避免四氯化硅液體的湍流，但依然存在電解熱溫度不均，接觸面積小的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種四氯化硅汽化器，以提高四氯化硅的汽化效率，節(jié)能降耗，降低生產(chǎn)成本，提高設(shè)備高效性，安全性和穩(wěn)定性。

為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用了以下的技術(shù)方案：

提供一種新型的四氯化硅汽化裝置，包括由底座和壁筒一體連接而成的密封筒柱，其特征在于，四氯化硅進(jìn)氣管從底座中心延伸進(jìn)入密封筒柱內(nèi)，四氯化硅出氣管嵌套在該四氯化硅進(jìn)氣管的外壁；且四氯化硅進(jìn)氣管的端口靠近于密封筒柱的頂部，四氯化硅出氣管的端口靠近于密封筒柱的底座；底座上設(shè)置有若干個(gè)平行排列的U型加熱電棒，每個(gè)U型加熱電棒通過(guò)電極與加熱電源相連接；密封筒柱的頂部上設(shè)置有保險(xiǎn)開關(guān)，且該保險(xiǎn)開關(guān)位于四氯化硅進(jìn)氣管的端口的正上方；壁筒的底端上還設(shè)有排污管。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：本實(shí)用新型四氯化硅進(jìn)氣管和出氣管采用嵌套式結(jié)構(gòu)，四氯化硅出氣管嵌套在進(jìn)氣管的外壁上，增設(shè)氣體分離裝置使得進(jìn)氣均勻、整個(gè)壁筒內(nèi)氣體分布均勻；同時(shí)在壁筒內(nèi)增設(shè)若干組U型加熱電棒，使得四氯化硅進(jìn)行充分汽化，本實(shí)用新型提供的四氯化硅汽化裝置可以很好地降低生產(chǎn)成本，提高設(shè)備安全性和穩(wěn)定性。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖說(shuō)明：1保險(xiǎn)開關(guān)，2分離裝置，3進(jìn)氣管，4出氣管，5底座，6壁筒，7U型加熱電棒，8加熱電源，9電極。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式做一個(gè)詳細(xì)的說(shuō)明。

如圖1所示的一種新型的四氯化硅汽化裝置的具體實(shí)施例，提供一種新型的四氯化硅汽化裝置，包括由底座5和壁筒6一體連接而成的密封筒柱，其特征在于，四氯化硅進(jìn)氣管3從底座5中心延伸進(jìn)入密封筒柱內(nèi)，四氯化硅出氣管4嵌套在該四氯化硅進(jìn)氣管3的外壁；且四氯化硅進(jìn)氣管3的端口靠近于密封筒柱的頂部，四氯化硅出氣管4的端口靠近于密封筒柱的底座5；底座5上設(shè)置有若干個(gè)平行排列的U型加熱電棒7，每個(gè)U型加熱電棒7通過(guò)電極9與加熱電源8相連接；密封筒柱的頂部上設(shè)置有保險(xiǎn)開關(guān)1，且該保險(xiǎn)開關(guān)1位于四氯化硅進(jìn)氣管3的端口的正上方；當(dāng)壁筒6內(nèi)部壓力大于安全壓力時(shí)，關(guān)閉進(jìn)氣管3，并采用相應(yīng)的泄壓方式，以確保壁筒6內(nèi)安全運(yùn)行；壁筒6的底端上還設(shè)有排污管。

本實(shí)用新型四氯化硅進(jìn)氣管3和出氣管4采用嵌套式結(jié)構(gòu)，四氯化硅出氣管4嵌套在進(jìn)氣管3的外壁上，增設(shè)氣體分離裝置2使得進(jìn)氣均勻、整個(gè)壁筒6內(nèi)氣體分布均勻；同時(shí)在壁筒6內(nèi)增設(shè)若干組U型加熱電棒7，使得四氯化硅進(jìn)行充分汽化，本實(shí)用新型提供的四氯化硅汽化裝置可以很好地降低生產(chǎn)成本，提高設(shè)備安全性和穩(wěn)定性。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。