[實用新型]一種基板傳動機構

有效

• 申請號: 201520942967.1
• 申請日: 2015-11-23
• 公開（公告）號: CN205114438U
• 公開（公告）日: 2016-03-30
• 發明（設計）人: 汪冬冬;王洪亞;張鵬記
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: B65G47/22
• 分類號: B65G47/22
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 余毅勤

技術領域

本實用新型涉及基板傳輸領域，尤其是一種基板傳動機構。

背景技術

在半導體制造領域，需要采用基板傳動機構傳輸基板。一般來說，基板傳動機構包括傳動桿和傳輸滾輪(ConveyorRoller)，傳輸滾輪固定在傳動桿上，并隨著傳動桿的轉動而轉動，待傳輸的基板鋪設在傳輸滾輪上，通過傳動桿帶動傳輸滾輪轉動，傳輸滾輪進而帶動基板，使得基板貼著傳輸滾輪傳輸。在傳輸基板(例如，玻璃基板、藍寶石基板)時，容易發生基板位置偏移預定基板傳輸路線的情況，如果發生該情況，則基板常常會破片，這會影響生產進度，降低產能。

為了解決上述問題，現有的方法是在基板傳動機構中加裝氣缸和校準輥(AlignRoller)，氣缸和校準輥均設置在豎直方向上，氣缸和校準輥均設置在基板傳輸路線的兩側，通過氣缸控制校準輥的高度。在傳輸基板時，基板邊緣的位置會受到兩側校準輥的限制，進而實現了對基板的限位。

然而，加裝氣缸和校準輥的設計具有以下缺點：氣缸和校準輥的組合結構復雜，成本高，不易安裝；校準輥或氣缸發生故障時，尤其是在氣缸發生故障時，更換過程耗時耗力，互換性較差；為了實現對基板的傳輸，需要采用多個傳動桿，多個傳動桿兩兩間隔設置，在兩個傳動桿之間的區域一般只加裝一套氣缸和校準輥的組合，因此，當基板進入兩個傳動桿之間的區域后，且還未受到下一套氣缸和校準輥的限位時，基板仍然容易偏移，尤其是有外部干擾時，基板還是會破片，而如果在兩個傳動桿之間的區域加裝多套氣缸和校準輥的組合，雖然能提高對基板的限位效果，但卻又必然會提高成本。因此，有必要提供一種簡單高效的基板傳動機構。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種基板傳動機構，以解決現有基板傳動機構結構復雜、安裝不便、成本較高和限位效果較差的問題。

為了達到上述目的，本實用新型提供了一種基板傳動機構，包括用于傳輸基板的傳動單元、用于對基板限位的導軌平臺和用于支撐所述導軌平臺的支撐單元，在基板傳輸路線兩側均設置有所述導軌平臺，所述導軌平臺通過支撐單元固定在所述傳動單元上，兩側所述導軌平臺均包括沿基板傳輸方向設置的導軌單元，待傳輸的基板鋪設在所述傳動單元上，所述基板分別與兩側導軌平臺的導軌單元接觸設置，通過所述傳動單元帶動基板沿所述導軌單元傳輸。

進一步地，在基板傳輸路線的兩側均設置有所述支撐單元，所述支撐單元包括軸承，所述傳動單元包括傳動桿和傳輸滾輪，所述傳輸滾輪套設在傳動桿上，并隨著所述傳動桿的轉動而轉動，待傳輸的基板鋪設在所述傳輸滾輪上，兩側的所述導軌平臺分別通過各自支撐單元中的軸承固定在傳動桿上，所述支撐單元還包括支架模塊，所述支架模塊的一端固定在導軌平臺上，另一端固定在軸承的外圈上，任一所述導軌平臺處均設置有多個相互間隔的所述傳動桿，多個所述傳動桿上均設置有所述軸承。

進一步地，任一所述導軌平臺處均設置有兩個相互間隔的傳動桿，任一側的所述支架模塊均包括第一支架模塊和第二支架模塊，所述導軌平臺通過第一支架模塊與一傳動桿上的軸承固定連接，所述導軌平臺還通過第二支架模塊與另一傳動桿上的軸承固定連接。

進一步地，所述第一支架模塊包括第一支架、第二支架和連桿，所述連桿分別與第一支架和第二支架相固定，所述第一支架與第二支架之間具有間隙，所述連桿通過第一支架和第二支架固定在所述一傳動桿上，所述第二支架模塊固定在導軌平臺上，所述第二支架模塊上具有齒狀結構，所述齒狀結構具有在豎直方向上不同位置處的多個凹槽，所述連桿設置在所述齒狀結構的一個凹槽中，所述第二支架模塊設置在第一支架和第二支架之間，通過調節所述連桿的位置使連桿設置在所述齒狀結構的不同凹槽中，進而改變所述導軌平臺在豎直方向上的高度。

進一步地，所述第一支架模塊還包括第四支架，所述第四支架固定在所述一傳動桿上的軸承上，所述第一支架和第二支架均固定在第四支架上，或者所述第一支架和第二支架均固定在所述一傳動桿上的軸承上。。

進一步地，還包括氣缸和第五支架，所述第五支架固定在支撐單元上，所述氣缸設置在第五支架與導軌平臺之間，通過調節所述氣缸使得導軌平臺的水平度與基板的水平度相匹配和/或調節導軌平臺的高度使得基板便于存放。

進一步地，所述導軌平臺還包括第一限位平板，所述導軌單元設置在第一限位平板上，所述第一限位平板通過支撐單元固定在所述傳動單元上，所述導軌單元設置在所述第一限位平板的側壁上，所述導軌平臺還包括第二限位平板，所述導軌單元設置在第二限位平板上，兩側所述導軌平臺的第二限位平板分別固定在所述第一限位平板的上表面處或分別固定在第一限位平板的下表面處。