[實用新型]一種用于檢測曝光系統(tǒng)光軸垂直度的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520928287.4 | 申請日： | 2015-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN205156878U | 公開（公告）日： | 2016-04-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陸敏婷 | 申請（專利權(quán)）人： | 合肥芯碁微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/26 | 分類號： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 合肥天明專利事務(wù)所 34115 | 代理人： | 婁岳;奚華保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新區(qū)*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 檢測 曝光 系統(tǒng) 光軸 垂直 裝置 | ||
1.一種用于檢測曝光系統(tǒng)光軸垂直度的裝置，包括兩自由度的運動平臺(1)、設(shè)置在該運動平臺上方的成像鏡筒(2)以及設(shè)置在該成像鏡筒上方的DMD芯片(3)，所述運動平臺(1)上安裝有吸盤墊(4)，其特征在于，所述成像鏡筒(2)頂端設(shè)置有中間鏤空的分劃板(5)，所述吸盤墊(4)上設(shè)置有與所述成像鏡筒(2)相適配的反射鏡(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述分劃板(5)為劃分有10組同心圓的十字圓結(jié)構(gòu)，10組同心圓直徑分別為15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、45mm、50mm、55mm、60mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述分劃板(5)為透明或半透明結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述DMD芯片(3)、分劃板(5)、成像鏡筒(2)以及反射鏡(6)同軸設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述分劃板(5)的中間鏤空部分為半徑5mm的圓形。
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