[實(shí)用新型]一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520926337.5
• 申請(qǐng)日: 2015-11-19
• 公開（公告）號(hào): CN205235701U
• 公開（公告）日: 2016-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁繼業(yè);陳剛剛;王雄;謝余才;安百俊;袁佳新
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧夏銀星能源光伏發(fā)電設(shè)備制造有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/14
• 分類號(hào): B01D53/14;F23G7/06;B01D47/00
• 代理公司: 寧夏專利服務(wù)中心 64100
• 代理人: 趙明輝

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置。

背景技術(shù)

太陽(yáng)能光伏電池片是一種將太陽(yáng)能轉(zhuǎn)換為電能的半導(dǎo)體器件，其原理 為光電效應(yīng)。在生產(chǎn)太陽(yáng)能光伏電池片的過程中，需要在太陽(yáng)能電池表面 利用PECVD技術(shù)沉積一層氮化硅減反射膜，以達(dá)到減少光線在電池片表 面反射作用，提高太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。PECVD鍍膜反應(yīng)采用氨 氣(NH₃)和硅烷(SiH₄)作為等離子氣源，在太陽(yáng)能電池表面制備氮化 硅膜，氮化硅膜主要含N、Si、H元素(SiN_x：H)。制備氮化硅膜過程中， 通過控制真空泵將腔體內(nèi)過量的氨氣和硅烷抽出來保證爐管腔體壓力恒 定。被抽出的氨氣和硅烷作為廢氣通過廢氣處理裝置處理后排放。

目前氨氣廢氣處理普遍采用的吸收法。對(duì)于大量氨氣廢氣，采用硫酸 吸收生成硫酸銨鹽，利用硫酸銨制成化肥，對(duì)于少量氨氣廢氣，采用四氯 化碳加水吸收。而PECVD鍍膜工藝產(chǎn)生的氨氣廢氣量并不大，用硫酸吸 收無(wú)實(shí)用價(jià)值，用四氯化碳等化學(xué)藥劑吸收則成本較高。同時(shí)由于硅烷極 易在空氣中燃燒，所以處理硅烷主要采用燃燒法，在硅烷燃燒塔內(nèi)同時(shí)通 入過量氮?dú)夂蛪嚎s空氣，使硅烷安全燃燒。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種成本低的氨氣和硅烷混合廢氣綜合處 理裝置，能夠有效、安全的處理氨氣和硅烷混合廢氣。

一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，其特別之處在于：包括硅烷 燃燒塔，該硅烷燃燒塔的進(jìn)風(fēng)口通過管道與PECVD真空泵出風(fēng)口連通， 該硅烷燃燒塔的出風(fēng)口通過管道與氨氣噴淋吸收塔進(jìn)風(fēng)口連通，該氨氣噴 淋吸收塔的出風(fēng)口通過管道與風(fēng)機(jī)連通。

其中硅烷燃燒塔還通過管道分別與液氮汽化器和壓縮空氣儲(chǔ)氣罐連 通，并且在硅烷燃燒塔上與該液氮汽化器和壓縮空氣儲(chǔ)氣罐的接口處分別 安裝有流量計(jì)。

其中氨氣噴淋吸收塔包括水箱，在該水箱內(nèi)安裝有pH計(jì)；其中該水 箱底部通過排水管與廢水管道連通，在該排水管上安裝有常閉電磁閥，并 且該常閉電磁閥與前述的pH計(jì)連接；其中該水箱頂部通過給水管與自來 水管道連通，在該給水管上也安裝有常閉電磁閥，并且該常閉電磁閥與前 述的pH計(jì)連接；其中該水箱頂部還通過溢水管與廢水管道連通。

其中在氨氣噴淋吸收塔的水箱旁安裝有水泵，該水泵進(jìn)口接水箱而其 出口接氨氣噴淋吸收塔塔頂?shù)膰娮臁?

其中在氨氣噴淋吸收塔的中間安裝有至少一層網(wǎng)格架，在該網(wǎng)格架上 鋪放有聚丙烯材質(zhì)的圓球作為填充物。

本實(shí)用新型提供了一種太陽(yáng)能光伏電池片生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的氨氣和 硅烷混合廢氣綜合處理裝置，通過該氨氣和硅烷廢氣綜合處理裝置，其優(yōu) 點(diǎn)是：(1)有效處理氨氣廢氣，廢氣排放達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)；(2)安全處理 硅烷廢氣，廢氣排放達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)；(3)整個(gè)處理過程無(wú)需人員操作， 安全無(wú)害，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，壓損?。?4)不使用其他化學(xué)藥劑，降低廢氣處 理成本；(5)裝置占地面積小，制造成本低，維護(hù)周期長(zhǎng)，無(wú)需經(jīng)常保 養(yǎng)。

附圖說明

附圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，本實(shí)用新型提供了一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝 置，包括硅烷燃燒塔，該硅烷燃燒塔的進(jìn)風(fēng)口通過管道與PECVD真空泵 出風(fēng)口連通，該硅烷燃燒塔的出風(fēng)口通過管道與氨氣噴淋吸收塔進(jìn)風(fēng)口連 通，該氨氣噴淋吸收塔的出風(fēng)口通過管道與風(fēng)機(jī)連通。

其中硅烷燃燒塔還通過管道分別與液氮汽化器和壓縮空氣儲(chǔ)氣罐連 通，并且在硅烷燃燒塔上與該液氮汽化器和壓縮空氣儲(chǔ)氣罐的接口處分別 安裝有流量計(jì)。其中在氨氣噴淋吸收塔包括水箱，在該水箱內(nèi)安裝有pH 計(jì)(pH檢測(cè)器)。該水箱底部通過排水管與廢水管道連通，在該排水管上 安裝有常閉電磁閥，并且該常閉電磁閥與前述的pH計(jì)連接；其中該水箱 頂部通過給水管與自來水管道連通，在該給水管上也安裝有常閉電磁閥， 并且該常閉電磁閥與前述的pH計(jì)連接；其中該水箱頂部還通過溢水管與 廢水管道連通。

其中在氨氣噴淋吸收塔的水箱旁安裝有水泵，該水泵進(jìn)口接水箱而其 出口接氨氣噴淋吸收塔塔頂?shù)膰娮?。在氨氣噴淋吸收塔的中間安裝有至少 一層網(wǎng)格架，在該網(wǎng)格架上鋪放有有PP材質(zhì)小圓球做填充物。

實(shí)施例1：