[實用新型]一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置

有效

• 申請號: 201520926337.5
• 申請日: 2015-11-19
• 公開（公告）號: CN205235701U
• 公開（公告）日: 2016-05-18
• 發明（設計）人: 丁繼業;陳剛剛;王雄;謝余才;安百俊;袁佳新
• 申請（專利權）人: 寧夏銀星能源光伏發電設備制造有限公司
• 主分類號: B01D53/14
• 分類號: B01D53/14;F23G7/06;B01D47/00
• 代理公司: 寧夏專利服務中心 64100
• 代理人: 趙明輝

1.一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，其特征在于：包括硅烷 燃燒塔，該硅烷燃燒塔的進風口通過管道與PECVD真空泵出風口連通， 該硅烷燃燒塔的出風口通過管道與氨氣噴淋吸收塔進風口連通，該氨氣噴 淋吸收塔的出風口通過管道與風機連通。

2.如權利要求1所述的一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，其 特征在于：其中硅烷燃燒塔還通過管道分別與液氮汽化器和壓縮空氣儲氣 罐連通，并且在硅烷燃燒塔上與該液氮汽化器和壓縮空氣儲氣罐的接口處 分別安裝有流量計。

3.如權利要求1所述的一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，其 特征在于：其中氨氣噴淋吸收塔包括水箱，在該水箱內安裝有pH計；其 中該水箱底部通過排水管與廢水管道連通，在該排水管上安裝有常閉電磁 閥，并且該常閉電磁閥與前述的pH計連接；其中該水箱頂部通過給水管 與自來水管道連通，在該給水管上也安裝有常閉電磁閥，并且該常閉電磁 閥與前述的pH計連接；其中該水箱頂部還通過溢水管與廢水管道連通。

4.如權利要求3所述的一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，其 特征在于：其中在氨氣噴淋吸收塔的水箱旁安裝有水泵，該水泵進口接水 箱而其出口接氨氣噴淋吸收塔塔頂的噴嘴。

5.如權利要求1至4中任意一項所述的一種氨氣和硅烷混合廢氣綜 合處理裝置，其特征在于：其中在氨氣噴淋吸收塔的中間安裝有至少一層 網格架，在該網格架上鋪放有聚丙烯材質的圓球作為填充物。