[實用新型]循環過濾式的核孔膜蝕刻裝置

有效

• 申請號: 201520922441.7
• 申請日: 2015-11-18
• 公開（公告）號: CN205091172U
• 公開（公告）日: 2016-03-16
• 發明（設計）人: 莫丹;袁平;劉杰;梁偉;張瑞慶;李運杰;曹殿亮
• 申請（專利權）人: 武威科近新發技術有限責任公司
• 主分類號: G01N1/32
• 分類號: G01N1/32
• 代理公司: 蘭州振華專利代理有限責任公司 62102
• 代理人: 張真

1.一種循環過濾式的核孔膜蝕刻裝置，其特征在于包括有蝕刻槽管道連接加熱槽的輸入口，管道設有水路開關；加熱槽的輸出通過循環過濾機連接蝕刻槽，在加熱槽內設有加熱器，加熱器監測蝕刻液溫度的熱敏探頭設置在蝕刻槽中；配液槽內設有攪拌器，配液槽通過水路開關和加液過濾機管道連接蝕刻槽；補液槽內設有監測加熱槽中濃度的濃度探頭，補液槽向蝕刻槽中自動補給蝕刻液。

2.如權利要求1所述的循環過濾式的核孔膜蝕刻裝置，其特征在于還包括有膜傳動機構，包括有依次設有的放卷機、蝕刻槽、清洗機、烘干機和收卷機，在放卷機上設有核孔膜的放卷卷軸；在蝕刻槽上設有輸送核孔膜的蝕刻壓輥，在清洗機上設有輸送核孔膜的清洗壓輥；在烘干機上設有輸送核孔膜的烘干壓輥；在收卷機上設有核孔膜的收卷壓輥。

3.如權利要求2所述的循環過濾式的核孔膜蝕刻裝置，其特征在于所述的清洗機依次設有互不連通的酸堿中和槽、第一水洗槽、第二水洗槽和超聲清洗槽；在槽中均設有清洗壓輥。

4.如權利要求2所述的循環過濾式的核孔膜蝕刻裝置，其特征在于收放膜的寬度范圍為200毫米至450毫米。

5.如權利要求1所述的循環過濾式核孔膜蝕刻裝置，其特征在于所述的蝕刻槽的材料為316L或304不銹鋼，工作溫度為室溫至90℃。

6.如權利要求2所述的循環過濾式的核孔膜蝕刻裝置，其特征在于所述的烘干機的熱風烘干的溫度為50℃-100℃。

7.如權利要求1所述的循環過濾式的核孔膜蝕刻裝置，其特征在于所述的攪拌器為機械攪拌，螺旋槳片的材料為316L或304不銹鋼。

8.如權利要求1所述的循環過濾式的核孔膜蝕刻裝置，其特征在于所述的加熱槽采用成組的加熱器進行加熱；加熱槽通過管道與蝕刻槽形成回路，循環過濾機使得蝕刻液在蝕刻槽和加熱槽中不斷循環；蝕刻液流動的速度為每小時循環1-20次。

9.如權利要求1所述的循環過濾式的核孔膜蝕刻裝置，其特征在于所述的加液過濾機和循環過濾機采用過濾精度0.5微米-70微米的濾膜，進行多級過濾；過濾機帶能定期清洗過濾機中殘渣的反沖洗頭。

10.如權利要求1所述的循環過濾式的核孔膜蝕刻裝置，其特征在于所述的補液槽，設有濃度探頭監測加熱槽中蝕刻液的濃度，根據濃度探測的高低自動向加熱槽補充去離子水或者高濃度的蝕刻液。