[實用新型]一種光刻膠涂布機有效
| 申請號： | 201520915802.5 | 申請日： | 2015-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN205091542U | 公開（公告）日： | 2016-03-16 |
| 發明（設計）人： | 張俊余;吳金力;張滿意;劉沖 | 申請（專利權）人： | 昆山龍騰光電有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 215301 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光刻 膠涂布機 | ||
1.一種光刻膠涂布機，包括加熱平臺和起模頂桿，所述加熱平臺上設置有至少一個貫穿所述加熱平臺的通孔，所述起模頂桿可以在所述通孔內沿所述通孔延伸的方向進行升降運動，其特征在于，
所述起模頂桿的基材接觸端與所述通孔靠近所述加熱平臺工作側的孔壁抵觸。
2.根據權利要求1所述的光刻膠涂布機，其特征在于，
所述通孔的形狀為柱體，所述起模頂桿的基材接觸端的形狀以及尺寸與所述通孔形狀以及尺寸相匹配。
3.根據權利要求2所述的光刻膠涂布機，其特征在于，所述通孔的橫截面形狀為圓形或多邊形。
4.根據權利要求1所述的光刻膠涂布機，其特征在于，
所述通孔的形狀為臺體，并且所述通孔靠近所述加熱平臺工作側的孔徑大于遠離所述加熱平臺工作側的孔徑；
所述起模頂桿的基材接觸端的形狀以及尺寸與所述通孔靠近所述加熱平臺工作側的形狀以及尺寸相匹配。
5.根據權利要求1所述的光刻膠涂布機，其特征在于，
所述通孔包括首尾相接的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔鄰近所述加熱平臺的工作側，所述第一通孔和所述第二通孔的形狀均為柱體，且所述第一通孔的孔徑大于所述第二通孔的孔徑；
所述起模頂桿的基材接觸端的形狀和尺寸與所述第一通孔的形狀和尺寸相匹配，所述起模頂桿的基材非接觸端的尺寸小于或者等于所述第二通孔的尺寸。
6.根據權利要求5所述的光刻膠涂布機，其特征在于，
所述第一通孔與所述第二通孔橫截面形狀為圓形或多邊形。
7.根據權利要求1所述的光刻膠涂布機，其特征在于，
所述通孔包括首尾相接的第三通孔與第四通孔，所述第三通孔鄰近所述加熱平臺工作側，所述第三通孔的形狀為臺體，所述第四通孔的形狀為柱體，并且所述第三通孔鄰近所述加熱平臺工作側的孔徑大于遠離所述加熱平臺工作側的孔徑；
所述起模頂桿的基材接觸端的形狀和尺寸與所述第三通孔的形狀和尺寸相匹配，且所述起模頂桿的基材非接觸端的尺寸小于或者等于所述第四通孔的尺寸。
8.根據權利要求4或7所述的光刻膠涂布機，其特征在于，所述臺體為圓臺，所述圓臺母線與所述工作平臺的夾角范圍為20°-80°。
9.根據權利要求4或7所述的光刻膠涂布機，其特征在于，所述臺體為棱臺，其橫截面為多邊形，并且所述棱臺側棱與所述工作平臺的夾角范圍為20°-80°。
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