[實用新型]一種在OVD沉積過程中保護噴燈導軌的裝置有效
| 申請號: | 201520910662.2 | 申請日: | 2015-11-16 |
| 公開(公告)號: | CN205115284U | 公開(公告)日: | 2016-03-30 |
| 發明(設計)人: | 沈小平;何炳;向德成;錢昆;田錦成;賀程程 | 申請(專利權)人: | 江蘇通鼎光棒有限公司 |
| 主分類號: | C03B37/018 | 分類號: | C03B37/018 |
| 代理公司: | 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211 | 代理人: | 楊慧玲 |
| 地址: | 215200 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 ovd 沉積 過程 保護 噴燈 導軌 裝置 | ||
技術領域
本實用新型屬于光纖預制棒生產制造技術領域,尤其是涉及一種在OVD沉積過程中保護噴燈導軌的裝置。
背景技術
由于使用大直徑光纖預制棒拉絲,能夠大大的提高光纖的生產效率,有效的降低光纖的生產成本,在大直徑光纖預制棒生產上,OVD技術作為生產預制棒包層的工藝具有得天獨厚的技術優勢,因此,OVD技術必將受到越來越多的企業家們的關注和青睞。
OVD技術的工藝原理是火焰水解反應,所謂火焰水解反應,是指四氯化硅(SiCl4)、四氯化鍺(GeCl4)蒸汽與氫氧焰發生水解反應,生成玻璃微粒,其化學反應方程式如公式1、公式2所示:
SiCl4+2H2+O2→SiO2+4HCl↑…………………公式1
GeCl4+2H2+O2→GeO2+4HCl↑…………………公式2
OVD技術的工藝過程如下:四氯化硅(SiCl4)、四氯化鍺(GeCl4)蒸汽通過噴燈噴出,與噴燈口的氫氧焰發生水解反應,生成SiO2微粒;控制噴燈沿噴燈導軌來回運動,從而將SiO2微粒逐層均勻的沉積在勻速旋轉的母棒表面;通過控制光纖預制棒中每一層二氧化鍺(GeO2)的含量,實現光纖預制棒折射率剖面分布的控制。由于OVD技術生產光纖預制棒時,是噴燈沿著噴燈導軌來回運動,將SiO2顆粒沉積在母棒表面的,因此,光纖預制棒的以下幾個性能受噴燈導軌精度的影響:
(1)光纖預制棒的外徑波動:噴燈導軌精度達不到要求,噴燈導軌表面不平整,在OVD沉積過程中,噴燈沿噴燈導軌來回運動時不穩定,導致部分位置沉積時間長,部分位置沉積時間短,使生產的光纖預制棒外徑不均勻;
(2)芯包同心度:噴燈導軌精度達不到要求,噴燈導軌軸向準直不合格,在OVD沉積過程中,噴燈沿噴燈導軌來回運動時,呈微小的“S”型運動,導致沉積的光纖預制棒芯包同心度不合格;
(3)光纖預制棒的光學性能:噴燈導軌精度達不到要求,在OVD沉積過程中,噴燈沿噴燈導軌來回運動時不穩定,導致光纖預制棒每一層不均勻,影響光纖預制棒的折射率剖面分布,這必將影響到光纖預制棒的光學性能。
由上可知,為保證光纖預制棒的質量,需要噴燈導軌的精度達到很高的要求,一般在5μm/m以內,因此,噴燈導軌的材質一般都是不銹鋼。然而,傳統OVD沉積設備的噴燈導軌是裸露在沉積腔內,其結構如圖1所示,只有導軌表面的一層潤滑油用作防護,但是,由公式1、公式2可知,OVD沉積腔內是強酸性和高溫環境,因此,在使用一段時間后,噴燈導軌會被腐蝕,一方面,噴燈導軌被腐蝕后,將破壞噴燈導軌的精度,同時,噴燈導軌被酸性氣體腐蝕產生的鐵離子,在高溫條件下揮發,會被氣流攜帶滲進光纖預制棒中,這些都將影響到光纖預制棒的質量,導致光纖預制棒不合格,使得報廢率升高,增加光纖預制棒的生產成本。另一方面,噴燈導軌被腐蝕后,需停止生產,更換噴燈導軌,勢必影響設備的生產效率,同時,噴燈導軌價格昂貴,較高頻次更換噴燈導軌,會大大的增加光纖預制棒的生產成本。
實用新型內容
有鑒于此,本實用新型旨在提出一種在OVD沉積過程中保護噴燈導軌的裝置,能夠有效對保護噴燈導軌不被腐蝕或生長銹斑。
為達到上述目的,本實用新型的技術方案是這樣實現的:
一種在OVD沉積過程中保護噴燈導軌的裝置,包括L型氣封結構、擋板、以及滑動安裝在噴燈導軌上的滑動模塊、以及安裝在滑動模塊上的噴燈基座;所述擋板設置在所述噴燈導軌一側;所述L型氣封結構的短立臂設置在所述噴燈導軌異于設置有擋板的一側,其長臥臂朝所述擋板方向橫穿入所述噴燈基座的凹槽內;所述長臥臂朝向擋板的一端設有一排氣封端面小孔,在所述擋板朝向所述L型氣封結構的一側對應氣封端面小孔的位置設有一排擋板端面小孔;所述擋板與所述長臥臂之間留有氣簾間隙;所述氣封端面小孔均與所述L型氣封結構上設置的氣封氮氣接口連通;所述擋板端面小孔均與所述擋板上設置的擋板氮氣接口連通;所述噴燈基座內設有與所述噴燈連通的氣體管路。
進一步,所述噴燈基座上的氣體管路與噴燈的主管路采用軟管連接。
進一步,所述L型氣封結構為具有氣封空腔的中空結構,其上的所述氣封氮氣接口及氣封端面小孔均與所述氣封空腔連通。
進一步,所述擋板為具有擋板空腔的中空結構,其上的所述擋板氮氣接口及擋板端面小孔均與所述擋板空腔連通。
進一步,所述擋板與所述長臥臂之間的氣簾間隙為2cm~2.5cm。
相對于現有技術,本實用新型具有以下優勢:
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