[實用新型]一種在OVD沉積過程中保護噴燈導軌的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520910662.2
• 申請日: 2015-11-16
• 公開（公告）號: CN205115284U
• 公開（公告）日: 2016-03-30
• 發(fā)明（設計）人: 沈小平;何炳;向德成;錢昆;田錦成;賀程程
• 申請（專利權）人: 江蘇通鼎光棒有限公司
• 主分類號: C03B37/018
• 分類號: C03B37/018
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 楊慧玲

1.一種在OVD沉積過程中保護噴燈導軌的裝置，其特征在于：包括L型氣封結構、擋板、以及滑動安裝在噴燈導軌上的滑動模塊、以及安裝在滑動模塊上的噴燈基座；所述擋板設置在所述噴燈導軌一側；所述L型氣封結構的短立臂設置在所述噴燈導軌異于設置有擋板的一側，其長臥臂朝所述擋板方向橫穿入所述噴燈基座的凹槽內；所述長臥臂朝向擋板的一端設有一排氣封端面小孔，在所述擋板朝向所述L型氣封結構的一側對應所述氣封端面小孔的位置設有一排擋板端面小孔；所述擋板與所述長臥臂之間留有氣簾間隙；所述氣封端面小孔均與所述L型氣封結構上設置的氣封氮氣接口連通；所述擋板端面小孔均與所述擋板上設置的擋板氮氣接口連通；所述噴燈基座內設有與所述噴燈連通的氣體管路。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種在OVD沉積過程中保護噴燈導軌的裝置，其特征在于：所述噴燈基座上的氣體管路與噴燈的主管路采用軟管連接。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種在OVD沉積過程中保護噴燈導軌的裝置，其特征在于：所述L型氣封結構為具有氣封空腔的中空結構，其上的所述氣封氮氣接口及氣封端面小孔均與所述氣封空腔連通。

4.根據(jù)權利要求1或3所述的一種在OVD沉積過程中保護噴燈導軌的裝置，其特征在于：所述擋板為具有擋板空腔的中空結構，其上的所述擋板氮氣接口及擋板端面小孔均與所述擋板空腔連通。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種在OVD沉積過程中保護噴燈導軌的裝置，其特征在于：所述擋板與所述長臥臂之間的氣簾間隙為2cm～2.5cm。