[實(shí)用新型]一種真空中樣品臺(tái)的二維調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520888567.7
• 申請(qǐng)日: 2015-11-10
• 公開（公告）號(hào): CN205258595U
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邵瑋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州新銳博納米科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/50
• 分類號(hào): C23C14/50;C23C14/54;G01N1/28
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32249
• 代理人: 陳建和

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種金屬屏蔽罩，具體涉及一種錐形金屬短管熒光屏屏蔽罩。

背景技術(shù)

PLD的系統(tǒng)設(shè)備簡(jiǎn)單，相反，它的原理卻是非常復(fù)雜的物理現(xiàn)象。它涉及高能量脈沖輻射沖擊固體靶時(shí)，激光與物質(zhì)之間的所有物理相互作用，亦包括等離子羽狀物的形成，其后已熔化的物質(zhì)通過等離子羽狀物到達(dá)已加熱的基片表面的轉(zhuǎn)移，及最后的膜生成過程。所以，PLD一般可以分為以下四個(gè)階段：1.激光輻射與靶的相互作用；2.熔化物質(zhì)的動(dòng)態(tài)；3.熔化物質(zhì)在基片的沉積；4.薄膜在基片表面的成核(nucleation)與生成。所以，在沉積的過程中樣品的位置很重要，很難一步到位將樣品固定在一個(gè)固定的位置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型目的是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實(shí)用新型提供一種可以對(duì)真空中的樣品進(jìn)行二維微調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是，真空中樣品臺(tái)的二維調(diào)節(jié)裝置，樣品臺(tái)由樣品架固定置于柔性波紋管內(nèi)，樣品架的樣品桿穿過柔性波紋管并固定在柔性波紋管的兩端法蘭，兩端法蘭分別裝置在柔性波紋管上的兩端，設(shè)有兩個(gè)固定板分別固定在柔性波紋管兩端的法蘭上，兩端的法蘭各固定一個(gè)固定板；兩個(gè)固定板之間且在柔性波紋管的上下位置用兩個(gè)耳板連接；兩個(gè)固定板之間用兩個(gè)耳板連接；每個(gè)耳板分別用第一微型調(diào)節(jié)器和第二微型調(diào)節(jié)器的活絡(luò)端頂住，第一微型調(diào)節(jié)器和第二微型調(diào)節(jié)器分別固定在兩個(gè)固定架上。

進(jìn)一步，第一微型調(diào)節(jié)器和第二微型調(diào)節(jié)器的活絡(luò)端伸出方向互相垂直。

第一微型調(diào)節(jié)器和第二微型調(diào)節(jié)器的活絡(luò)端伸出方向互相垂直。

兩個(gè)固定板之間通過兩個(gè)耳板相連接。每個(gè)耳板各用一個(gè)微型調(diào)節(jié)器頂住，通過控制微型調(diào)節(jié)器的前進(jìn)和后退來調(diào)節(jié)兩個(gè)CF35法蘭之間的相對(duì)位置，從而調(diào)節(jié)樣品臺(tái)在腔體中的位置。對(duì)樣品臺(tái)進(jìn)行二維微型調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型的有益效果：PLD的系統(tǒng)在真空沉積的過程中，樣品的位置很重要，可以一步到位將樣品調(diào)節(jié)固定在一個(gè)固定的位置。本實(shí)用新型可以對(duì)真空中的樣品臺(tái)進(jìn)行兩個(gè)維度進(jìn)行微調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)方便簡(jiǎn)明。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的二維調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)使用說明圖。

圖2是圖1中左端法蘭安裝第二微型調(diào)節(jié)器9的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。

本實(shí)用新型的實(shí)施方式：如圖所示，波紋管1、兩端的兩只法蘭2、3、兩塊耳板4、5、兩塊固定板6、7、第一微型調(diào)節(jié)器8、第二微型調(diào)節(jié)器9。樣品臺(tái)由樣品架固定置于柔性波紋管內(nèi)，樣品架的樣品桿穿過柔性波紋管并固定在柔性波紋管的兩端法蘭，兩端法蘭分別裝置在柔性波紋管上的兩端，設(shè)有兩個(gè)固定板分別固定在柔性波紋管兩端的CF35法蘭上兩端的法蘭上各固定一個(gè)固定板。兩個(gè)固定板之間用兩個(gè)耳板連接，每個(gè)耳板各用一個(gè)微型調(diào)節(jié)器頂住，微型調(diào)節(jié)器固定在兩個(gè)固定架上。通過旋轉(zhuǎn)微型調(diào)節(jié)器來推進(jìn)或放松耳板來調(diào)節(jié)兩個(gè)CF35法蘭的相對(duì)位置從而調(diào)節(jié)樣品的位置。將兩個(gè)固定板分別裝在兩頭是CF35法蘭的波紋管的法蘭上，兩個(gè)固定板之間通過兩個(gè)耳板連接，每一個(gè)耳板各用一個(gè)微型螺旋調(diào)節(jié)器頂住。

第一微型調(diào)節(jié)器和第二微型調(diào)節(jié)器均裝在左端法蘭2上，圖2中左端法蘭安裝第二微型調(diào)節(jié)器9的結(jié)構(gòu)示意圖；圖1中左端法蘭安裝第一微型調(diào)節(jié)器8安裝結(jié)構(gòu)。第一微型調(diào)節(jié)器和第二微型調(diào)節(jié)器的活絡(luò)端伸出方向互相垂直。

通過旋轉(zhuǎn)微型調(diào)節(jié)器(具有螺旋結(jié)構(gòu))來推進(jìn)或放松耳板來調(diào)節(jié)兩個(gè)CF35法蘭的相對(duì)位置，從而起到調(diào)節(jié)樣品的位置的作用。如第一微型調(diào)節(jié)器可以控制樣品在水平方向上的擺動(dòng)，則第二微型調(diào)節(jié)器可以控制樣品在豎直方向上的擺動(dòng)。

雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型。本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種更改和潤(rùn)飾，但不超出本實(shí)用新型范圍。