[實用新型]一種真空中樣品臺的二維調節裝置

有效

• 申請號: 201520888567.7
• 申請日: 2015-11-10
• 公開（公告）號: CN205258595U
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發明（設計）人: 邵瑋
• 申請（專利權）人: 蘇州新銳博納米科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/54;G01N1/28
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 陳建和

1.真空中樣品臺的二維調節裝置，其特征是樣品臺由樣品架固定置于柔性波紋管內，樣品架的樣品桿穿過柔性波紋管并固定在柔性波紋管的兩端法蘭，兩端法蘭分別裝置在柔性波紋管上的兩端，設有兩個固定板分別固定在柔性波紋管兩端的法蘭上，兩端的法蘭各固定一個固定板；兩個固定板之間且在柔性波紋管的上下位置用兩個耳板連接；兩個固定板之間用兩個耳板連接；每個耳板分別用第一微型調節器和第二微型調節器的活絡端頂住，第一微型調節器和第二微型調節器分別固定在兩個固定架上。

2.根據權利要求1所述的真空中樣品臺的二維調節裝置，其特征是第一微型調節器和第二微型調節器的活絡端伸出方向互相垂直。