[實用新型]一種用于太陽能電池片的并行六軸機械手有效
| 申請號: | 201520880780.3 | 申請日: | 2015-11-08 |
| 公開(公告)號: | CN205081105U | 公開(公告)日: | 2016-03-09 |
| 發明(設計)人: | 陳小慧;李華超;李挺 | 申請(專利權)人: | 蘇州辰正太陽能設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215300 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 太陽能電池 并行 機械手 | ||
1.一種用于太陽能電池片的并行六軸機械手,包含X軸組件、Y軸組件、Z軸組件、ZETA軸組件,其特征在于:
所述的X軸組件安裝于底座上,所述的X軸組件的上方安裝Y軸組件,所述的Y軸組件的中間安裝控制器,所述的控制器的兩側各安裝一組Z軸組件,所述的Z軸組件的下端安裝有ZETA軸組件,所述的ZETA軸組件的下端安裝有吸盤安裝桿。
2.根據權利要求1所述的一種用于太陽能電池片的并行六軸機械手,其特征在于:所述的X軸組件包括X軸固定板、X軸滑軌、絲桿、X軸聯軸器、減速器、X軸電機、Y軸安裝板、滑塊,所述的X軸固定板的上表面的兩側固定有X軸滑軌,所述的X軸滑軌的中間固定于絲桿,絲桿的一端通過X軸聯軸器和減速器與X軸電機相連,所述的X軸滑軌上連接有滑塊,所述的滑塊上安裝有Y軸安裝板。
3.根據權利要求1或2所述的一種用于太陽能電池片的并行六軸機械手,其特征在于:所述的Y軸組件包括模組、模組安裝板、Z軸固定板、Y軸聯軸器、Y軸電機、Y軸滑軌,所述的Y軸滑軌通過Y軸聯軸器與Y軸電機相連,所述的Y軸滑軌的兩側安裝有模組,所述的模組上安裝有模組安裝板,所述的模組安裝板安裝有Z軸固定板,所述的模組安裝板固定于Y軸安裝板。
4.根據權利要求3所述的一種用于太陽能電池片的并行六軸機械手,其特征在于:所述的Z軸組件包括Z軸電機、Z軸聯軸器、Z軸傳感器、Z軸滑軌、Z軸模組、ZETA軸固定板,所述的Z軸電機通過Z軸聯軸器與Z軸滑軌相連,所述的Z軸滑軌上安裝有Z軸模組,所述的Z軸模組上固定有ZETA軸固定板,所述的Z軸滑軌安裝有Z軸傳感器。
5.根據權利要求4所述的一種用于太陽能電池片的并行六軸機械手,其特征在于:所述的ZETA軸組件包括ZETA軸電機、ZETA軸諧波減速器、ZETA軸傳感器、固定件,所述的ZETA軸電機固定于ZETA軸固定板,ZETA軸電機與ZETA軸轉動軸相連,ZETA軸轉動軸與ZETA軸諧波減速器相連,ZETA軸諧波減速器與固定件相連,固定件與吸盤安裝桿相連,ZETA軸轉動軸上安裝有ZETA軸傳感器。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





