[實(shí)用新型]膜厚的檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520874729.1
• 申請日: 2015-11-04
• 公開（公告）號(hào): CN205102770U
• 公開（公告）日: 2016-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜利
• 申請（專利權(quán)）人: 威海華菱光電股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B7/06
• 分類號(hào): G01B7/06
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 趙囡囡;吳貴明

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及薄膜厚度檢測的技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種膜厚的檢測裝置。

背景技術(shù)

薄片狀物品，如紙張、票據(jù)、塑料薄膜、紡織物品等的在線連續(xù)厚度測量，在其產(chǎn)品的生產(chǎn)、檢測、處理、回收等過程中處于越來越重要的地位。當(dāng)前，薄膜厚度的檢測技術(shù)要包括霍爾、反射型超聲波、透射型超聲、電磁感應(yīng)式、渦流式等技術(shù)。但這些技術(shù)對(duì)應(yīng)的檢測裝置體積較大，成本較高，不利于這些技術(shù)的應(yīng)用。

近年來，通過電極間的靜電感應(yīng)進(jìn)行薄膜厚度的檢測技術(shù)在不斷研究探索之中，例如公開號(hào)CN210302446Y的專利公開的了一種電容式紙厚傳感器，其主要是將電容器的容量變化轉(zhuǎn)化成振蕩頻率的變化，再通過頻壓轉(zhuǎn)換模塊將頻率的變化轉(zhuǎn)換成電壓的變化。公開號(hào)為CN103363887A的專利也公開了一種材料厚度的檢測方法，利用平板電容的極板作為厚度檢測的敏感器件，實(shí)測對(duì)象的厚度變化引起的電容活動(dòng)極板產(chǎn)生位移，導(dǎo)致平板電容器的容量發(fā)生變化。

上述這些通過電極間的靜電感應(yīng)的檢測薄膜厚度的技術(shù)在一定程度上減小了檢測裝置的體積，但仍需要傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，因此與檢測設(shè)備的小型化發(fā)展還不相符。

另外，現(xiàn)有技術(shù)中的檢測裝置不能精確測量薄膜的厚度，不利于薄膜產(chǎn)品厚度的精確監(jiān)控，進(jìn)而不利于薄膜產(chǎn)品質(zhì)量的監(jiān)控。

實(shí)用新型內(nèi)容

本申請旨在提供一種膜厚的檢測裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的檢測裝置不能準(zhǔn)確地檢測出薄膜的厚度的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本申請的一個(gè)方面，提供了一種膜厚的檢測裝置，該裝置包括：公共電極、至少一個(gè)檢測電極與檢測電路，其中，各檢測電極與上述公共電極在第一方向上相對(duì)且間隔設(shè)置，且上述公共電極的第一公共表面與各上述檢測電極的第一檢測表面相對(duì)，上述第一公共表面與各上述第一檢測表面之間形成待測膜的檢測通道；檢測電路與各上述檢測電極電連接，上述檢測電路包括誤差消除單元，上述誤差消除單元用于消除噪音信號(hào)，上述噪音信號(hào)為上述公共電極未加載電壓時(shí)，上述檢測電極上的電信號(hào)。

進(jìn)一步地，上述檢測電路還包括復(fù)位單元，上述復(fù)位單元與上述誤差消除單元電連接，其中，上述復(fù)位單元用于存儲(chǔ)上述噪音信號(hào)。

進(jìn)一步地，上述檢測電路還包括：移位控制單元與放大單元，其中，移位控制單元包括輸入端，上述輸入端與各上述檢測電極電連接，上述移位控制單元用于控制多個(gè)上述檢測電極的電信號(hào)的輸出順序；放大單元一端與上述移位控制單元的輸出端電連接，另一端分別與上述復(fù)位單元和上述誤差消除單元電連接，上述放大單元用于放大接收到的上述電信號(hào)。

進(jìn)一步地，上述檢測裝置中包括多個(gè)上述檢測電極，且多個(gè)上述檢測電極被分為沿第二方向間隔設(shè)置的多個(gè)檢測電極組，上述第二方向與上述待測膜的移動(dòng)方向垂直，且與上述第一方向垂直，各上述檢測電極組包括兩個(gè)檢測電極，上述移位控制單元包括兩個(gè)移位控制模塊，各上述檢測電極組中的兩個(gè)上述檢測電極與兩個(gè)上述移位控制模塊的輸入端一一對(duì)應(yīng)電連接。

進(jìn)一步地，上述放大單元為差分放大單元。

進(jìn)一步地，上述檢測電路還包括信號(hào)傳輸時(shí)序控制單元，上述信號(hào)傳輸時(shí)序控制單元設(shè)置在上述放大單元與上述復(fù)位單元之間，上述信號(hào)傳輸時(shí)序控制單元用于控制上述放大單元是否向上述復(fù)位單元輸入上述電信號(hào)。

進(jìn)一步地，上述檢測裝置還包括：第一基板與第二基板，其中，上述公共電極設(shè)置在上述第一基板的第一表面上，上述第一基板的第一表面與上述第一方向垂直；第二基板與上述第一基板在上述第一方向上間隔設(shè)置，上述第二基板的第一表面朝向上述第一基板的第一表面，并且與上述第一基板的第一表面平行，各上述檢測電極設(shè)置在上述第二基板的第一表面上。

進(jìn)一步地，上述第一基板與上述第二基板均為陶瓷基板。

進(jìn)一步地，上述檢測裝置還包括：第一框體與第二框體，其中，上述第一基板設(shè)置在上述第一框體的第一表面上；第二框體與上述第一框體在上述第一方向上間隔設(shè)置，上述第二基板設(shè)置在上述第二框體的第一表面上。

進(jìn)一步地，上述檢測裝置中還包括：第一保護(hù)層與第二保護(hù)層，其中，第一保護(hù)層設(shè)置在上述第一公共表面上；第二保護(hù)層設(shè)置在所有上述第一檢測表面上。

進(jìn)一步地，上述檢測裝置中還包括：第一導(dǎo)電薄膜與第二導(dǎo)電薄膜，其中，第一導(dǎo)電薄膜設(shè)置在上述公共電極與上述第一保護(hù)層之間；第二導(dǎo)電薄膜設(shè)置在所有上述檢測電極與上述第二保護(hù)層之間。