[實用新型]膜厚的檢測裝置

有效

• 申請號: 201520874729.1
• 申請日: 2015-11-04
• 公開（公告）號: CN205102770U
• 公開（公告）日: 2016-03-23
• 發明（設計）人: 姜利
• 申請（專利權）人: 威海華菱光電股份有限公司
• 主分類號: G01B7/06
• 分類號: G01B7/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 趙囡囡;吳貴明

1.一種膜厚的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置包括：

公共電極(10)；

至少一個檢測電極(20)，各所述檢測電極(20)與所述公共電極(10)在第一方向上相對且間隔設置，且所述公共電極(10)的第一公共表面與各所述檢測電極(20)的第一檢測表面相對，所述第一公共表面與各所述第一檢測表面之間形成待測膜的檢測通道；以及

檢測電路(3)，與各所述檢測電極(20)電連接，所述檢測電路(3)包括誤差消除單元(35)，所述誤差消除單元(35)用于消除噪音信號，所述噪音信號為所述公共電極未加載電壓時，所述檢測電極(20)上的電信號。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測電路(3)還包括復位單元(34)，所述復位單元(34)與所述誤差消除單元(35)電連接，其中，所述復位單元(34)用于存儲所述噪音信號。

3.根據權利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測電路(3)還包括：

移位控制單元(31)，包括輸入端，所述輸入端與各所述檢測電極(20)電連接，所述移位控制單元(31)用于控制多個所述檢測電極(20)的電信號的輸出順序；以及

放大單元(32)，一端與所述移位控制單元(31)的輸出端電連接，另一端分別與所述復位單元(34)和所述誤差消除單元(35)電連接，所述放大單元(32)用于放大接收到的所述電信號。

4.根據權利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置中包括多個所述檢測電極(20)，且多個所述檢測電極(20)被分為沿第二方向間隔設置的多個檢測電極組(2)，所述第二方向與所述待測膜的移動方向垂直，且與所述第一方向垂直，各所述檢測電極組(2)包括兩個檢測電極(20)，所述移位控制單元(31)包括兩個移位控制模塊，各所述檢測電極組(2)中的兩個所述檢測電極(20)與兩個所述移位控制模塊的輸入端一一對應電連接。

5.根據權利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述放大單元(32)為差分放大單元。

6.根據權利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測電路(3)還包括信號傳輸時序控制單元(33)，所述信號傳輸時序控制單元(33)設置在所述放大單元(32)與所述復位單元(34)之間，所述信號傳輸時序控制單元(33)用于控制所述放大單元(32)是否向所述復位單元(34)輸入所述電信號。

7.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括：

第一基板(30)，所述公共電極(10)設置在所述第一基板(30)的第一表面上，所述第一基板(30)的第一表面與所述第一方向垂直；以及

第二基板(40)，與所述第一基板(30)在所述第一方向上間隔設置，所述第二基板(40)的第一表面朝向所述第一基板(30)的第一表面，并且與所述第一基板(30)的第一表面平行，各所述檢測電極(20)設置在所述第二基板(40)的第一表面上。

8.根據權利要求7所述的檢測裝置，其特征在于，所述第一基板(30)與所述第二基板(40)均為陶瓷基板。

9.根據權利要求7或8所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括：

第一框體(50)，所述第一基板(30)設置在所述第一框體(50)的第一表面上；以及

第二框體(60)，與所述第一框體(50)在所述第一方向上間隔設置，所述第二基板(40)設置在所述第二框體(60)的第一表面上。

10.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置中還包括：

第一保護層(12)，設置在所述第一公共表面上；以及

第二保護層(22)，設置在所有所述第一檢測表面上。

11.根據權利要求10所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置中還包括：

第一導電薄膜(11)，設置在所述公共電極(10)與所述第一保護層(12)之間；以及

第二導電薄膜(21)，設置在所有所述檢測電極(20)與所述第二保護層(22)之間。