[實用新型]用于改善電池片表面層導電類型的擴散石英舟結構有效
| 申請號: | 201520861829.0 | 申請日: | 2015-11-03 |
| 公開(公告)號: | CN205039138U | 公開(公告)日: | 2016-02-17 |
| 發明(設計)人: | 徐永洋;馬東陽;陳艷峰 | 申請(專利權)人: | 綠華能源科技(杭州)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241 | 代理人: | 林君勇 |
| 地址: | 311201 浙江省杭州市*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 改善 電池 表面 導電 類型 擴散 石英 結構 | ||
1.一種用于改善電池片表面層導電類型的擴散石英舟結構,其特征在于:包括舟體(1),所述的舟體(1)的兩側端分別設有呈對稱狀分布的卡槽組件,所述的卡槽組件包括上槽棒(2)和下槽棒(3),所述的上槽棒(2)與下槽棒(3)中分別設有卡槽(4)和插入缺口(5),所述的插入缺口(5)位于卡槽(4)的上部,所述的卡槽(4)的寬度為0.45-0.56mm,所述的插入缺口(5)的橫截面呈等腰梯形狀,所述的插入缺口(5)的張開角度為60度,所述的上槽棒(2)與下槽棒(3)的數量分別為127個;
二個卡槽組件中上槽棒(2)和下槽棒(3)的四槽的中心線在同一平面上,該平面與舟體(1)的軸向中心線夾角為90度;
所述的舟體(1)的上部設有上固定架(6),所述的上固定架(6)的兩側端呈45度傾斜分布,所述的上固定架(6)中設有上固定孔(7),所述的舟體(1)的上端中設有一對呈間隔狀分布的中固定孔(8),所述的舟體(1)的下端中設有一對呈間隔狀分布的下固定孔(9),中固定孔(8)間的間距大于下固定孔(9)的間距,所述的下固定孔(9)間的間距為100mm;
所述的舟體(1)中設有溫度傳感器(10)。
2.根據權利要求1所述的用于改善電池片表面層導電類型的擴散石英舟結構,其特征在于:相鄰卡槽(4)中心線間的間距為3.75,所述的舟體(1)的底部設有支撐腳(11),所述的中固定孔(8)與下固定孔(9)的間距為80mm。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





